序号

采购项目名称

标的名称

标的数量

预算金额

（元）

预计采购日期

主要功能或目标

需满足的要求

1

东莞理工学院宽禁带半导体信息功能器件科研平台采购项目

宽禁带半导体信息功能器件科研平台

1批

********.00

2024年4-5月

本项目主要用于采购人国际微电子学院科研平台建设，提升采购人在科研方面的竞争力，推动采购人的学科建设，实现创新型人才培养目标。平台的建设为东莞和周边地区的企业、高校、研究所和公共服务部门提供技术支撑，充分发挥采购人大型仪器设备对区域科技创新的服务支撑作用。科研平台项目采购内容包括：1.分子束外延（MBE）设备；2.金属有机化学气相沉积设备（MOCVD）及保障配套设备；3.化合物半导体芯片加工设备：电子束蒸发设备、激光直写光刻机、刻蚀机设备、磁控溅射设备；4.半导体检测设备：半导体参数分析仪、矢量网络分析仪、吉时利 2450 源表、吉时利 2612B 源表、荧光量子效率测量系统、二维材料转移平台设备；5.Si基半导体芯片加工设备：离子束刻蚀机设备、感应耦合等离子刻蚀机设备、射频去胶机设备、阳极氧化设备。

1.供应商参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录。

2.供应商必须提供产品的安装调试服务，并配合产品验收工作。

3.提供与产品领域相关的技术文档、客户案例作为参考。

4.供应商需提供产品的售后服务，响应时间不超过24小时。