一、项目名称：洁净环境气相沉积系统

二、项目编号：S*******

三、采购人：苏州大学采购与招投标管理中心

地址：江苏省苏州市东环路50号凌云楼906室

邮编：******　　　　　　　传真：0512-********

联系人：罗老师　　　　　　电话：0512-********

电子邮箱：lrb998@suda.edu.cn

技术联系人：刘老师　　　　电话：180*****265

电子邮箱：liujiang@suda.edu.cn

四、采购货物品名、数量及主要性能参数要求

洁净环境气相沉积系统　　1套

1.真空腔室：净空间尺寸不小于400mm×400mm×450mm，与手套箱密封结合良好，前门观察窗玻璃尺寸不小于Φ95mm，配置至少一套方便拆卸的防污隔板；腔体需预留3个及以上未使用的真空法兰接口，用于后期功能扩展。

2.真空系统：主泵分子泵抽速不小于4500m³/h，双级旋片泵抽速不小于30m³/h，超高真空可调电动闸板阀；全量程数显复合真空计，采用知名品牌。

3.真空极限：优于9.0×10^-5Pa。

4.基片台：最大可处理基片不小于6英寸，基片台配有全尺寸一体化挡板，挡板开合需要磁流体密封；基片台旋转：旋转速度0～25转/分连续可调，基片台旋转需要磁流体密封；基片台衬底加热：室温～600℃可调可控，预留升级负偏压功能。

5.溅射靶：不少于3只3英寸圆形平面靶安装位置。

6.溅射电源：1台功率不低于1000VA直流溅射电源；2台功率不低于500VA射频电源，频率13.56MHz，自动匹配。

7.气路系统：三路工艺气体MFC控制，量程范围为0～100SCCM\0～50SCCM\0～50SCCM。

8水冷系统：水冷部件有分子泵、溅射靶及旋转密封磁流体等，整机配水流报警保护系统，高精度冷却循环水机1台。

9 控制分为手动和自动二种模式，自动模式下，根据腔内压强自动执行相关泵，阀的启闭；可远程监控，软件使用期限为永久有效。

10.磁控腔室：单腔水平流场外加热反应腔室，腔室内无加热机构。

11.磁控样品台配有可拆卸片托2个，可放下最大直径8英寸晶圆。

12.反应温度：50℃～150℃，温度控制精度±1℃，工艺温度保证可以在100℃以内实现。

13.ALD沉积系统：标准加热液态前驱体源2路，配置swagelok高温快速ALD阀（响应时间＜10ms）、手动阀、50ml不锈钢源瓶，源瓶及管路加热温度RT-200℃，控制精度±1℃。

14.常温源路，配置知名品牌快速ALD阀（响应时间＜10ms）、手动阀、50ml不锈钢源瓶。

15.含两路载气系统，使用氩气作为载气，全套知名品牌管路+VCR密封，前驱体源管路具有在线清洗功能。

16.磁控极限真空＜5×10^-2Torr，真空漏率＜5×10^-7Pa·L/S；额定抽速≥65m3/h；

17.真空泵前级配置热阱，加热温度最高500℃，用于吸附、分解未反应的前驱体源；抽气管路配有截止阀和加热套，加热温度最高150℃

18.真空测量配置薄膜真空计+皮拉尼真空计，真空计采用知名品牌，测量范围5×10^-5 Torr至大气压,真空计前设有保护真空计的高效过滤网以及气动隔膜阀。

19.高精度PLC+工控机沉积自动控制系统，满足高精度沉积需求，可视化的操作界面，实时显示系统各部分运行状态，可方便的调节温度、流量、脉冲时间等参数，编辑并保存配方参数；多用户权限分配，软硬件互锁，异常报警、紧急停机等功能确保安全性；人机界面：外挂式触摸屏，可自由选择悬停位置。

20．洁净环境箱体：长度约5米，宽度和高度配合系统合理设计，304不锈钢材质。箱体底部配有支架，旋转脚轮，可微调水平，配有用于压力调节的脚踏板。

21、箱体配有大、小过渡舱，大过渡舱直径≤360mm，长度≤600mm，小过渡舱直径≤150mm，长度≤300mm。为方便运输，大、小过渡舱与箱体的连接方式均为可拆卸式法兰连接，不得焊接于箱体侧板。

22．玻璃视窗采用实芯O型密封圈（真空密封方式）法兰视窗结构，达到无泄漏，实芯O型圈直径不超过8mm，密封槽为方形凹槽，实芯密封圈安装方式为嵌入密封槽内安装，密封支撑面及密封槽底平面度＜0.1mm/m。不接受单层或双层空芯密封圈粘贴在支撑面上的密封方式，需提供产品宣传册的玻璃视窗密封结构示意图。

23．手套口为铝合金材质，原色氧化，耐腐蚀。

24．气体循环能力：集成风机流量≥90m³/h，加装变频控制。

25．真空泵系统：抽速≥12m³/h，真空度可达2×10^-3mbar，知名品牌，配装油雾过滤器。

26．气体净化系统：净化材料可再生，且再生过程通过PLC自动控制，具有自动除水除氧功能，可得气体纯度：水<1ppm，氧<1ppm。

27．气体控制阀：不锈钢电磁集成阀座，需提供产品宣传册的不锈钢集成阀座图片。

28．水分析仪：测量范围是0～500ppm，知名品牌，采用P₂O₅传感器，水探头可以通过清洗再生程序恢复初始状态，可重复使用，后续维护成本低。要求提供水分析仪生产厂家对该功能的证明文件。

29．氧分析仪：测量范围：0～1000ppm，知名品牌，采用ZrO2传感器，可重复使用后续维护成本低。要求提供氧分析仪生产厂家对该功能的证明文件。

30.有超净过滤系统，箱内配有机溶剂吸附器。

（四）质保期不少于1年。

五、评分标准

本次磋商采用综合评分法，总分为100分，具体内容如下：

（一）技术参数、配置及整体综合性能分（50分）

1．技术参数及配置（35分）

以供应商提供的能直接反映该产品技术参数的彩页或产品说明书等作为主要评判依据，其他情况由磋商小组根据实际情况进行评判。

（1）所提供产品多项不满足磋商公告要求（偏离），或参数偏离超出用户教学、科研可接受范围的，经磋商小组评审可作为无效响应文件。

（2）所提供产品不满足磋商公告要求（偏离）、配置不详、技术参数不明确、缺漏项的，每处扣2分。

2．综合性能情况（15分）

（1）所提供产品性能参数优于竞争性磋商文件中技术要求情况（磋商小组认为超出指标有意义的）（6分）。其中优于项，每处加2分。

（2）所提供产品的市场反馈情况（9分）。

根据所提供产品的品牌影响力、市场占有率（同行业为主）、现有用户的反馈情况、使用提供产品发表的学术论文情况等综合评定。

（二）价格分（35分）

1．基准价：满足竞争性磋商文件要求且价格最低的报价为基准价，基准价为满分35分。

2．其他供应商的报价得分按照下列公式计算：报价得分＝（基准价／报价）×35分。

（三）综合商务（15分）

1．综合实力（3分）

根据供应商综合实力评定。

2．售后服务与培训情况等（10分）

（1）质保期（3分）。符合磋商文件要求的，得1分，每增加一年质保期加1分。

（2）服务、技术支持与培训承诺情况（7分）。

根据磋商响应文件的相关承诺、服务网点设置情况、服务响应时间、现有用户对产品售后服务情况及服务水平的反馈等综合评定。

3．其它优惠措施等（2分）

根据供应商提供的在磋商文件要求范围以外，磋商小组认可的优惠措施综合评定。

六、磋商响应报价应包括所报仪器设备费、安装调试费、测试验收费、培训费、运行维护费、税金(含美国产品被加征关税)、国际国内运输费、保险和其他为完成本项目所发生的一切费用。

七、供应商资质要求

（一）具有独立承担民事责任的能力；

（二）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；

（三）具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；

（四）有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录；

（五）近三年内，在经营活动中没有重大违法记录；

（六）本项目不接受联合体报价。

八、磋商响应文件的组成

（一）磋商响应文件一般由下列材料组成（部分表格样式见附件1），复印件须加盖供应商公章，所有材料须按序装订成册：

1. 目录（磋商响应资料与页码对照表，原件）。

2. 磋商响应函（原件）。

3. 响应基本情况一览表（原件）。

4. 详细配置清单（原件）。

5. 技术规格偏离表（原件）。

6. 公司简介（包括公司资质、公司业绩、公司荣誉等，原件）。

7. 资格证明材料

（1）营业执照、税务登记证以及组织机构代码证（复印件）。

（2）法定代表人授权书（原件）。

（3）法定代表人身份证明材料（如身份证、护照等）（复印件）。

（4）法人授权代表身份证明材料（授权代表投标需提供，如身份证、护照等）及单位社保证明（复印件）。

（5）供应商最新的年度财务报表（复印件）。

（6）仪器设备生产或经营企业许可证（如有，复印件，特殊行业必须提供）。

（7）仪器设备销售代理授权证明（进口货物非生产制造厂商投标的，须按第2.2条要求提供，专项授权书提供原件、代理证书提供复印件）。

（8）有关质量认证中心出具的质量体系认证证书（如有，例如：ISO、FDA、CE、3C等，国家强制要求的设备必须提供，复印件）。

（9）近三年来与本次磋商仪器设备相同产品的用户名单及联系方式（以教学、科研用户为主，原件）。

8. 服务措施、服务承诺（主要包括针对本项目的服务、培训方案及其他优惠措施等）（原件）。

9. 供应商认为应该提供的其他材料。

（二）特别说明

1. “磋商响应文件”应装订并密封，并加盖投标单位公章。

2. 正本一份，副本三份，如副本与正本有出入，以正本为准；

3. 相关材料及填写规范按照《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》第三条“投标文件”中的具体要求执行。

九、货物交货期、交货地点、付款方式、安装、调试、验收以及售后服务等相关商务要求，参照《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》第21条中的要求执行。

十、磋商文件价格：人民币800元（相关缴纳事宜详见附件3），售后不退。

十一、报名：供应商在报名前，须认真阅读《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》和本磋商公告，完全了解并接受其所有条款及要求，并在2024年4月22日12:00前将报名函（格式见附件2）发送邮件至采购人处（lrb998@suda.edu.cn）。

十二、递交磋商响应文件相关事宜：

（一）顺丰快递邮寄方式（建议优先采用）

1. 寄达时间：2024年4月29日15:00前。

2. 收件人信息：

　收件人：罗老师

　联系方式：136*****516

　收件地址：江苏省苏州市东环路50号苏大东校区凌云楼906室（采购与招投标管理中心）

（二）现场递交方式

1. 递交时间：2024年4月29日14：30～15：00

2. 递交地点：江苏省苏州市东环路50号苏州大学东校区东大门

十三、递交磋商文件截止时间：2024年4月29日15:00。

十四、磋商时间：2024年4月29日15:00。

磋商性公告附件.rar