光刻机采购公告
光刻机采购公告
| 项目名称 | 光刻机 | 项目编号 | JJ******** |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | 171*****78000 | 公告截止日期 | 171*****00000 |
| 采购单位 | 重庆大学 | 付款方式 | 货到验收合格付款 |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 成交后3个工作日内 | 到货时间要求 | 合同签订5个工作日内 |
| 预 算 | 无 | ||
| 收货地址 | 重庆大学 | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 光刻机 | 1 | 台 | 电子工业生产设备 |
| 品牌 | 中科院光电所IOE |
|---|---|
| 型号 | URE-2000/35LD |
| 品牌2 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 品牌3 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 预算 | 无 |
| 技术参数及配置要求 | 1.曝光面积：165mm×165mm；2.曝光波长：365nm（LED光源，可根据用户需求选择汞灯光源）； 3.分辨力：≤0.8μm；4.对准精度：±1 μm；5.对准系统扫描台运动范围至少满足： Y:10mm；X:±50mm（X向数字设定，精度≤3um）6.双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过CCD+显示器对准，光学合像，光学最大倍数400倍，光学+电子放大800倍，物镜三对：4倍、10倍、20倍，目镜三对：10倍、16倍、20倍；7.掩模尺寸2.5英寸，3英寸，4英寸，5英寸 ,7英寸（其他尺寸可定制）； 8.样片尺寸：碎片，2英寸， 3英寸，4英寸，6英寸（其他尺寸可定制）；9.适应样品厚度：0.5-6mm，最大可支持20mm的样片（定制）；10.曝光方式：定时（倒计时方式）；11.照明不均匀性：＜2.5%；12.掩模相对于样片运动行程至少满足：X: ±5mm; Y: ±5mm;13.曝光能量密度：>30mW/cm；14.光源平行性：≤2.5°；15.对准位和曝光位双工位工作，双工位伺服电机自动切换；16.调平接触压力通过传感器保证重复性；17.可数字设定对准间隙和曝光间隙，0-500数值化可调；18.具备膜厚测量模块接口，也具备纳米压印接口；19.触摸屏操作。 |
| 售后服务 | 电话支持:7x24小时;质保期限:3年;响应时间:8小时;销售资质:协议供货商;商品承诺:原厂全新未拆封正品; |
标签: 光刻机
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