序号

货物名称

招标技术要求

1

定向超低能离子减薄仪

1 离子源：基于钨灯丝发射电子激发聚焦氩离子源技术，镜筒采用静电透镜

*1.1 加速电压范围：50 eV - 2 keV，连续可调

1.2 束流密度：最高达1 mA/cm2

*1.3 最小束斑：1 μm @ 2,000 eV.

1.4 法拉第杯监测束流：束流范围：1 至 2,000 pA，可现场更换光阑

1.5 可现场更换光阑

*1.6 Ar离子束采用电磁聚焦方式，具备扫描能力

2 样品台

2.1 样品台气锁更换样品：时间小于 30 秒.带换样预抽真空室。

2.2样品照明：用户控制样品室照明，辅助样品更换

3 真空系统

3.1 两级真空系统：无油干泵和涡轮分子泵

3.2 系统极限真空度：3 x 10-7 mbar

3.3 工作时真空度：1 x 10-4 mbar

3.4 样品真空测量：冷阴极结合皮拉尼真空规，其量程为从大气压到 1 x 10-8mBar 真空度

4 气体及其控制

4.1 工作气体：Ar, 99.9995% 纯度；N2 99.99%需要配置精密减压阀

4.2 气体流速：约0.2sccm，表头压力15ps；

4.3 采用宇航技术的自动气体流量控制技术，实现离子源气流的精密流量控制，含两个流量计；

4.4 系统内置细微颗粒过滤器

5 液氮冷冻台

5.1 传导制冷方式，自动温度连锁控制

5.2 样品台温度：低达 –170 °C

5.3 系统冷却时间：小于 20 分钟

5.4 样品冷却时间：小于 5 分钟

5.5 杜瓦瓶液氮维持持： 6 小时

5.6 内置气锁加热器，确保样品快速升温到环境温度

6 样品加工

6.1 样品台倾转角范围： ?12？ 到 +32？

6.2 样品定位：可将离子束定位于样品表面某一点，或者进行选区扫描

6.3 自动终止：两种自动加工终止方式：计时器设定，或者温度设定。

7 成像

7.1 配置E-T二次电子探头进行二次电子成像

7.2 视场大小：3 mm

7.3 图像显示在图像用户界面中

*7.4 减薄区域应与成像区域同一位置，以确保扫描观察图像和刻蚀样品同位进行

8 用户界面

8.1 图形用户界面

8.2 加工策略、加工参数全编程，带系统状态显示

序号

目录

招标商务需求

（一）免费保修期内售后服务要求

1

免费保修期

1.1产品全部验收合格后（以技术验收合格签字为标准），货物免费保修期为1年，时间自最终验收合格并交付使用之日起计算；

2

维修响应及故障解决时间

2.1质保期内，如果有因质量问题而引起的损坏，供应商应对产品予以维修或更换，全部服务费和更换产品或配件的费用由供应商承担，供应商如不能修理或不能调换，按产品原价赔偿处理。保修期后继续支持维修，并按成本价标准收取维修及零件费用。

2.2质保期内，供应商将向南方科技大学提供优质的售后技术支持服务，开通24小时热线电话接受南方科技大学的电话技术咨询，如故障不能排除，供应商应在24小时内提供现场服务，待产品运行正常后撤离现场。

2.3供应商应定期对产品进行预维护保养，以防患于未然。在整个产品运行过程中，供应商帮助南方科技大学解决在应用过程中遇到的各种技术问题

……

其他

投标人应按其投标文件中的承诺，进行其他售后服务工作。

（二）免费保修期外售后服务要求（可选）

1

2

……

（三）其他商务要求

1

关于交货

1.1签订合同后 120 天（日历日）内。

1.2投标人必须承担的设备运输、安装调试、验收检测和提供设备操作说明书、图纸等其他类似的义务。

1.3交货地点：南方科技大学检测中心指定位置。

2

关于验收

2.1投标人货物经过双方检验认可后，签署验收报告，产品保修期自验收合格之日起算，由投标人提供产品保修文件。

2.2当满足以下条件时，采购人才向中标人签发货物验收报告：

a、中标人已按照合同规定提供了全部产品及完整的技术资料。

b、货物符合招标文件技术规格书的要求，性能满足要求。

序号

货物名称

招标技术要求

投标技术响应

偏离情况

说明

1

定向超低能离子减薄仪

1 离子源：基于钨灯丝发射电子激发聚焦氩离子源技术，镜筒采用静电透镜

*1.1 加速电压范围：50 eV - 2 keV，连续可调

1.2 束流密度：最高达1 mA/cm2

*1.3 最小束斑：1 μm @ 2,000 eV.

1.4 法拉第杯监测束流：束流范围：1 至 2,000 pA，可现场更换光阑

1.5 可现场更换光阑

*1.6 Ar离子束采用电磁聚焦方式，具备扫描能力

2 样品台

2.1 样品台气锁更换样品：时间小于 30 秒.带换样预抽真空室。

2.2样品照明：用户控制样品室照明，辅助样品更换

3 真空系统

3.1 两级真空系统：无油干泵和涡轮分子泵

3.2 系统极限真空度：3 x 10-7 mbar

3.3 工作时真空度：1 x 10-4 mbar

3.4 样品真空测量：冷阴极结合皮拉尼真空规，其量程为从大气压到 1 x 10-8mBar 真空度

4 气体及其控制

4.1 工作气体：Ar, 99.9995% 纯度；N2 99.99%需要配置精密减压阀

4.2 气体流速：约0.2sccm，表头压力15ps；

4.3 采用宇航技术的自动气体流量控制技术，实现离子源气流的精密流量控制，含两个流量计；

4.4 系统内置细微颗粒过滤器

5 液氮冷冻台

5.1 传导制冷方式，自动温度连锁控制

5.2 样品台温度：低达 –170 °C

5.3 系统冷却时间：小于 20 分钟

5.4 样品冷却时间：小于 5 分钟

5.5 杜瓦瓶液氮维持持： 6 小时

5.6 内置气锁加热器，确保样品快速升温到环境温度

6 样品加工

6.1 样品台倾转角范围： ?12？ 到 +32？

6.2 样品定位：可将离子束定位于样品表面某一点，或者进行选区扫描

6.3 自动终止：两种自动加工终止方式：计时器设定，或者温度设定。

7 成像

7.1 配置E-T二次电子探头进行二次电子成像

7.2 视场大小：3 mm

7.3 图像显示在图像用户界面中

*7.4 减薄区域应与成像区域同一位置，以确保扫描观察图像和刻蚀样品同位进行

8 用户界面

8.1 图形用户界面

8.2 加工策略、加工参数全编程，带系统状态显示

序号

目录

招标商务条款

投标商务条款

偏离情况

说明

（一）免费保修期内售后服务条款偏离表

1

免费保修期

1.1产品全部验收合格后（以技术验收合格签字为标准），货物免费保修期为1年，时间自最终验收合格并交付使用之日起计算；

2

维修响应及故障解决时间

2.1质保期内，如果有因质量问题而引起的损坏，供应商应对产品予以维修或更换，全部服务费和更换产品或配件的费用由供应商承担，供应商如不能修理或不能调换，按产品原价赔偿处理。保修期后继续支持维修，并按成本价标准收取维修及零件费用。

2.2质保期内，供应商将向南方科技大学提供优质的售后技术支持服务，开通24小时热线电话接受南方科技大学的电话技术咨询，如故障不能排除，供应商应在24 小时内提供现场服务。

2.3供应商应定期对产品进行预维护保养，以防患于未然。在整个产品运行过程中，供应商帮助南方科技大学解决在应用过程中遇到的各种技术问题

……

（一）免费保修期外售后服务条款偏离表

1

2

……

（三）其他商务条款偏离表

1

关于交货

1.1签订合同后 120天（日历日）内。

1.2投标人必须承担的设备运输、安装调试、验收检测和提供设备操作说明书、图纸等其他类似的义务。

1.3交货地点：南方科技大学指定地点。

2

关于验收

2.1投标人货物经过双方检验认可后，签署验收报告，产品保修期自验收合格之日起算，由投标人提供产品保修文件。

2.2当满足以下条件时，采购人才向中标人签发货物验收报告：

a、中标人已按照合同规定提供了全部产品及完整的技术资料。

b、货物符合招标文件技术规格书的要求，性能满足要求。

c、货物具备产品合格证。

……

序号

评分项

权重

1

价格

30

2

技术部分

53

序号

评分因素

权重

评分方式

评分准则

1

技术保障措施

3

专家打分

在投标文件中详细说明保障措施（包括技术团队、技术方案、技术人员、场地、车辆等），评审委员会根据响应情况进行横向比较，按优100分，良80分，中60分，差0分打分。

（采购人可根据项目具体情况设置评价因素）

2

技术规格偏离情况

50

专家打分

1. 投标人应如实填写《技术规格偏离表》，评审委员会根据技术需求参数响应情况进行打分，各项技术参数指标及要求全部满足的得100分。投标人所投设备“*”重要技术参数每负偏离（低于）1项，扣10分；投标人所投设备一般技术参数每负偏离（低于）1项，扣5分；扣分最高不超过100分。

3

商务需求

9

序号

评分因素

权重

评分方式

评分准则

1

免费保修期内售后服务条款偏离情况

6

专家评分

投标人应如实填写《免费保修期内售后服务条款偏离表》，评审委员会根据服务响应时间,售后服务时间及技术支持及技术解决方案等情况进行横向比较评分：优81-100分，良61-80分，中31-60分，差0-30分打分。

（“x”分值根据商务条款的数量综合设定，允许对重点参数与一般参数设定不同的扣分档次）。

2

其他商务条款偏离情况

3

专家打分

投标人应如实填写《其他商务条款偏离表》，评审委员会根据交货、验收等响应情况进行横向比较评分：优81-100分，良61-80分，中31-60分，差0-30分打分。

（“x”分值根据商务条款的数量综合设定，允许对重点参数与一般参数设定不同的扣分档次）。

4

综合实力部分

8

序号

评分因素

权重

评分方式

评分准则

1

投标人近三年同类业绩（截止日为本项目公告发布之日）

3

专家评分

提供3个同类业绩即得满分，提供2个得60分，提供1个得30分，未提供的不得分。投标人必须在投标文件中提供每一个完工项目的合同和验收报告，否则不得分。

2

诚信

5

专家评分

根据《深圳市财政委员会关于加强招投标评审环节诚信管理的通知》（深财购[2013]27号）的要求，投标人在参与政府采购活动中存在诚信相关问题的，本项不得分，未出现相关诚信问题的得满分。以深圳市政府采购履约评价库和政府采购行政处罚记录中的资料为准。履约评价无差评且没有处罚记录的得100分，有差评的或有处罚记录得0分。投标人无需提供任何证明材料，由采购中心工作人员向评委会提供相关信息。