采购项目名称：高真空金属蒸发镀膜机
采购单位：北京市清华大学
付款方式：货到付款100%
签约时间要求：成交后7个工作日内
交货时间要求：签订合同后30个工作日内
交货地址：北京市清华大学
技术参数及配置要求：一、真空腔室 真空专用304不锈钢腔室，300×300×500mm；前开门结构。配内衬防污板，可旋转水冷； 二、镀膜要求 *镀膜蒸发速率： Al:10~30?/s，Cu :5~10?/s，Au:5~10?/s； Ag:5~15?/s；Ni:5~10?/s；Ti:1~5?/s；Pt:1~5?/s；根据实际工艺可自动调整。 *镀膜速率控制要求：自动控制最小0.1A，手动控制0.02A（提供图片佐证） *镀膜方式：实现全自动镀膜。 *可镀膜材料：Au/Cu/Al/Ag/Ni/Ti/Pt/Cr/Nb/Ga/In/Ir/Fe等，以及不常用低熔点金属等，氟化镁，氧化锰，C60，BCP,AlQ3等等低熔点化合物小分子材料等。 *镀膜厚度均匀性：2英寸工件/4英寸工件，保证片内均匀性优于+/-4%，片间均匀性优于+/-4%； *镀膜厚度重复性：优于+/-1%； *附着力：符合ISO及国标军标要求。 三、膜厚仪 进口 INFICON品牌，型号: SQC-310，配备 1 只水冷探头； 显示控制精度0.01 埃； 四、真空系统 不小于1100L/S泵组高真空抽气系统； 五、基片台尺寸 最大可镀基片尺寸/面积：Φ100mm范围内可装卡各种规格配套相应样品架可固定各类不锈钢掩膜板。基片台旋转：0-20转/分钟，可调可控。基片台可水冷。 六、蒸发源及电源 热蒸发系统配2组蒸发源（可使用丝状源与舟状源）； 配备水冷蒸发电极,不小于1.44KW金属蒸发电源。 七、控制方式 西门子PLC+西门子触摸屏全自动控制；所有阀门采用电动控制。 八、报警及保护 对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施；完善的逻辑程序互锁保护系统。 九、设备配电 电压：AC220V/50HZ 功率：4.5KW 十、设备震动 *设备震动A级，符合ISO标准，噪音指数65分贝以下 十一、设备尺寸 占地面积小节约实验室实验空间。 1.主机 外形尺寸：W550×D950×H1850mm * 仪器重量：118kg 2.泵: 外形尺寸：W200×D500×H260mm * 仪器重量：36kg 3.水冷机 外形尺寸：W230×D280×H380mm * 仪器重量：16kg 十二、腔体洁净度要求 *需提供高真空状态腔体气体分析报告。
质保期：12个月
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