电光柔学院-激光器芯片流片加工采购二次公告（询价）

电子与光学工程学院、柔性电子（未来技术）学院就电光柔学院-激光器芯片流片加工项目组织采购活动，欢迎符合资质条件的供应商参与。

一、项目名称：电光柔学院-激光器芯片流片加工（编号：FSCG2024-0481）

二、采购预算：*****元（人民币）

三、采购内容：

1.采购需求：完成半导体激光器芯片的流片工艺，流片次数3次，具体工艺及工艺参数包括： （1）脊条工艺： 脊条宽度2μm-3μm，脊条两侧双沟宽度15-20μm，双沟刻蚀深度1.8-2μm （2）电隔离工艺：电隔离刻蚀宽度8μm，刻蚀深度>500 nm （3）开窗工艺：刻蚀脊波导上的二氧化硅薄膜，宽度≥8微米，同时完成一次解离槽的刻蚀 （4）解离槽刻蚀：根据解离需要刻蚀掉解离路径上的二氧化硅薄膜，宽度≥20μm （5）电极工艺：电极厚度≥1000nm，脊条上电极宽度14μm，电极材料 TiPtAu。

2.交付时间：合同签订1个月内

3.交付地点：南京邮电大学

4.验收要求：各项指标满足合同中的参数指标要求

5.付款时间、方式：合同签订后2周内支付合同金额的80%，验收合格后支付20%。

四、参与询价的供应商应具备的资格条件（供应商应对符合如下资格条件做出书面承诺）

1.具有独立承担民事责任的能力；

2.具有良好的商业信誉；

3.具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；

4.有依法缴纳税收的良好记录；

5.参加本次采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录；

6.法律、行政法规规定的其他条件。

五、评审时间、地点及评定原则

1.时间：2024年4月24日18时

2.地点：南京邮电大学

3.评审原则：公开询价满足项目需求的最低价成交

六、联系人及联系方式

联 系 人：张云山

联系电话：187*****948 Email:yszhang@njupt.edu.cn

联系地址：南京市栖霞区文苑路9号

七、请供应商按询价响应报价表格式一次报出不得更改的价格，并在2024年4月24日17时（北京时间）前送达。响应材料至少应包含：1、法人授权书；2、代理人身份证复印件；3、加盖公章的报价表及承诺书。