高真空电阻蒸发镀膜机
高真空电阻蒸发镀膜机
项目编号 | BA********* | 项目名称 | 高真空电阻蒸发镀膜机 |
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经办人单位 | 物理学院 | 经办人 | 张国华 |
预算金额 | ******.00 人民币 | 成交金额 | ******.00 人民币 |
成交供应商 | 北京泰科诺科技有限公司 | 质保期 | 12 月 |
联系地址 | 北京市-市辖区-昌平区回龙观镇建材城西路87号院8号楼11层1-1218 | 采购单位 | 吉林大学物理学院 |
付款方式 | 成交单签订后预付成交单总金额的30%,货到验收合格办理相关手续后付成交单总金额的60%,质保期满后付余款10%。(适用于加工定制类) | ||
供应商联系手机 | 185*****991 | 交货时间 | 成交单签订后100天内交货 |
交货地址 | 吉林省-长春市-前进大街2699号吉林大学南区物理楼 | ||
交货方式 | 乙方免费将产品送达甲方用户单位指定地点。 | ||
包装及运费 | 由乙方免费提供及承担 | ||
验收方式 | 以成交单为准,参考相关内容进行验收。验收程序以甲方职能部门规定为准。 | ||
售后服务要求 | ①产品质保期为一年; ②质保期内设备的维修免费(人为损坏因素除外); ③质保期内由于设备本身原因而引起的零配件(易损件除外)的更换,其费用由我公司承担; ④建立客户设备信息档案,随时跟踪设备运行及维护,保证设备正常运行; ⑤在接到用户要求我公司进行技术支持的正式通知(含电话或邮件通知)后,我公司技术人员于48小时内,赶到技术服务现场; ⑥对于质保期以外设备的维护,我公司只收取成本费; ⑦所有配件、备件质保期外可长期按成本价及时提供。 | ||
采购材料 | 上传2-自主采购评审报告-蒸镀.pdf |
采购品目 | 其他电工、电子生产设备 | 品牌名称 | 泰科诺 |
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名称 | 高真空电阻蒸发镀膜机 | 产地及生产商 | 产地:中国-生产厂商:北京泰科诺科技有限公司 |
规格型号 | ZHDS400 | 数量 | 1 |
计量单位 | 个 | 保修年限 | 1 年 |
单价 | ******.00 人民币 | 总价 | ******.00 人民币 |
主要技术参数 | 1.真空腔室 镀膜室尺寸:L400mm×W440mm×H450mm;SUS304优质不锈钢真空腔室;方箱式;前门水平滑开式,可便于在手套箱内操作;后门为侧开门,便于设备清理维护; 特点:镀膜室配置独立机架,可在脱离手套箱条件下单独调试和使用,与手套箱之间通过镀膜室前门框密封连接,对接方便、密封安全可靠。 2.真空系统 复合分子泵+直联高速旋片式真空泵+高真空阀门+数显复合真空计; 3.真空极限 5.0×10-5Pa(设备和手套箱分体,设备空载,抽真空24小时); 4.升压率 设备升压率:≤0.8Pa/h(12小时平均值); 设备保压:停泵12小时后,设备真空度≤10Pa; 5.抽速 从大气抽至8.0×10-4Pa≤40min(不带手套箱,设备空载); 从大气抽至8.0×10-4Pa≤10min(设备空载,干燥氮气环境); 6.基片台 ①基片台尺寸120×120mm,最大样品尺寸小于120×120mm;配有基片台挡板; ②旋转转速0~25转/分钟,可调可控; ③升降基片台可调节范围70mm,蒸发源与基片距离约260-330mm; 7.蒸发源及电源 ①金属蒸发源:水冷铜电极2组; 逆变式蒸发电源:功率3kW;1台(1台电源可切换供2组电极分时蒸镀); ②蒸发源配气动挡板及源间防污隔板。 8.控制方式 PLC+触摸屏控制; 9.报警及保护 对缺水进行报警并执行相应保护措施;完善的逻辑程序互锁保护系统; |
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