MOCVD烤盘炉采购公告
MOCVD烤盘炉采购公告
项目名称 | MOCVD烤盘炉 | 项目编号 | WLU-HW-KS-NM-2024-0476 |
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公告开始日期 | 171*****20000 | 公告截止日期 | 171*****00000 |
采购单位 | 西湖大学 | 付款方式 | 内贸部分:货到验收合格后付全款 |
联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
签约时间要求 | 无 | 到货时间要求 | 内贸部分:2024年08月 |
预 算 | ******.0 | ||
收货地址 | 云谷校区 | ||
供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 |
采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
---|---|---|---|
MOCVD烤盘炉 | 1 | 台 | 无 |
品牌 | 无 |
---|---|
型号 | 无 |
品牌2 | 无 |
型号 | 无 |
品牌3 | 无 |
型号 | 无 |
预算 | ******.0 |
技术参数及配置要求 | 1.设备安装空间应小于3m×3m×2.5m;2.设备整体包括如下几个模块与子系统:1)电气控制系统为PLC控制;2)含冷却水系统;3)进气系统和气体分配系统耐腐蚀;4)预留接入尾气系统接口;5)中高温加热器系统(400~1000℃);6)气体侦测系统:可配置有害气体环境监控系统;3.可通氯气4.性能1)分区加热;采用缠绕钨丝的方式;2)适用直径规格:≥280mm的石墨托盘;3)工作温度区间:400 ~1000℃;4)工艺气体:N2和Cl2;5)采用具有热稳定性的材料载片; |
售后服务 | 质保期:1年;商品承诺:质保期后,只收取零配件费,不收取人工费; |
标签: CVD
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