8英寸MEMS晶圆生产线之扫描电镜国际招标公告2/03
8英寸MEMS晶圆生产线之扫描电镜国际招标公告2/03
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 扫描电镜 | 1 | 配备主动式减震台,在20万倍以上放大倍率成像时,图像显示无明显可观察到的震动波纹。其他参数详见第八章 | 无 |
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