8英寸MEMS晶圆生产线之压膜机国际招标公告2/03
8英寸MEMS晶圆生产线之压膜机国际招标公告2/03
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 压膜机 | 1 | 平台加热温度:室温~120℃,精度:±7℃。其他参数详见第八章 | 无 |
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