真空镀膜设备招标公告
真空镀膜设备招标公告
| 基本信息： | |
| 申购单主题： | 真空镀膜设备（物理 王老师） |
| 申购单类型： | 竞价类 |
| 设备类别： | 仪器仪表 |
| 使用币种： | 人民币 |
| 竞价开始时间： | 2016-06-08 08:38 |
| 竞价结束时间： | 2016-06-13 10:00 |
| 申购备注： | |
| 申购设备详情： |
| 真空镀膜设备（物理 王老师） | 1 | 合肥鼎硕机电设备有限公司 | l 镀膜薄膜材料类型：单质、复相薄膜、多层薄膜、化合物薄膜l 镀膜室极限真空：≤1×10-5Pa；抽气时间：30分钟内优于2×10-4Pa；系统配备分子泵+机械泵组成超高真空抽气系统。l 真空室要求：尺寸~300*300*400mm，真空室为方箱结构，材质为不锈钢，正面开门且门上配玻璃观察窗，观察窗配防污挡板，真空室配照明装置。l 靶尺寸、数量，电源：2只φ50mm永磁靶；配电源2套 l 溅射方式：可以进行垂直溅射和共聚焦溅射，靶基距可调（40~80mm）, 基片设有预溅射挡板。l 基片可旋转、可加热：温度可调在0~500℃连续可调（精度±1C）；转速数显且连续可调。l 2路MFC质量流量计控制气体流量；可用气体种类包括：Ar、O2、N2及一些腐蚀性气体,如氨气等。l 真空测量：“两低一高” 数显复合真空计，两只电阻规分别测量前级及真空室低真空，一只电离规测量真空室高真空。l 配备冷却水循环机机一台。l 完善的逻辑程序互锁保护系统：对泵、靶、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施。 l 数量一套 | 是 | 按行业标准提供服务 | 送货上门，负责安装调试 | 无 |
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