是否接受进口

拒绝进口

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

1.▲ RFPS-200射频等离子源：可适用气体：氮气，氢气，氧气；安装法兰：CF100或CF63；进气法兰：CF16；工作气体流量范围：0.1-10 sccm；主腔工作气压：<1E-3 mbar；工作距离：100-200 mm；源体深入腔体的长度：不少于400mm；特殊设计的多孔引出结构，可根据生长需求进行定制；射频驱动功率：500 W；匹配器：自动匹配；冷却水循环通过线圈，水温<20℃，水流 ≥ 2 L/min。
2.▲ 射频电源：射频驱动功率：不低于500 W，频率：13.56MHz。
3.▲ 匹配器：自动和手动切换，功率：不低于1000W。
4.▲ 光谱仪：适用波段：380—960nm，狭缝宽度不低于100μm； 光学分辨率1.5nm，积分时间1ms-60s；包含光纤，光纤可固定法兰。
5.▲ 气路面板：质量流量计，精密气体流量控制：0.1sccm-10sccm；全金属VCR超高纯气路标准设计；气体纯化器；高纯气路PE管。

质保期

1年

售后要求

1. 质保期：中标人提供制造商免费质保1年，时间自最终验收合格并交付使用之日起计算，在保修期内，一旦发生质量问题，投标人保证在接到通知24小时内赶到现场进行修理或更换，保修期间维修及零件更换费用由厂家负担。由制造商提供质保服务，由制造商提供售后服务。 2. 维修响应时间：提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，2小时内响应，24小时内派员上门现场维护，并在48小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、功能的设备给招标人代用。 3. 验收标准：根据招标要求及双方所签订的技术协议书逐条验收，设备经过双方检验认可后，签署验收报告，产品保修期自验收合格之日起算，由投标人提供产品保修文件。 以下条件时，采购人才向中标人签发货物验收报告： a、中标人已按照合同规定提供了全部产品及完整的技术资料； b、货物符合招标文件技术规格书的要求，性能满足要求； c、货物具备产品合格证。