MOCVD烤盘炉采购公告
MOCVD烤盘炉采购公告
| 项目名称 | MOCVD烤盘炉 | 项目编号 | WLU-HW-KS-NM-2024-0545 |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | 171*****07000 | 公告截止日期 | 171*****00000 |
| 采购单位 | 西湖大学 | 付款方式 | 内贸部分：货到验收合格后付全款 |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 无 | 到货时间要求 | 内贸部分：2024年08月 |
| 预 算 | ******.0 | ||
| 收货地址 | 云谷校区 | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| MOCVD烤盘炉 | 1 | 台 | 无 |
| 品牌 | 无 |
|---|---|
| 型号 | 无 |
| 品牌2 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 品牌3 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 预算 | ******.0 |
| 技术参数及配置要求 | 1.设备安装空间应小于3m×3m×2.5m；2.设备整体包括如下几个模块与子系统：1）电气控制系统为PLC控制；2）含冷却水系统；3）进气系统和气体分配系统耐腐蚀；4）预留接入尾气系统接口；5）中高温加热器系统(400~1000℃);6）气体侦测系统：可配置有害气体环境监控系统；3.可通氯气4.性能1）分区加热；采用缠绕钨丝的方式；2）适用直径规格：≥280mm的石墨托盘；3）工作温度区间：400 ～1000℃;4）工艺气体：N2和Cl2;5）采用具有热稳定性的材料载片； |
| 售后服务 | 质保期:1年;商品承诺:质保期后，只收取零配件费，不收取人工费; |
标签: CVD
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