项目名：备件采购
编号：无
日期：2024-05-27
采购单位：无锡中微晶园电子有限公司

上电极 个 3 基座 件 3 绝缘柱 件 100 1/4VCR垫片 件 300 加热灯灯罩 个 2 贴膜台盆 个 1 温度计探头（安立） 个 1 X线圈防护板 个 2 晶振保护罩 个 2 晶振防着板 个 3 Plate，Quartz，Lamp 个 1 电机 件 1 陶瓷手臂PULLOUT ARM 件 1 加热灯罩玻璃 个 20 点火炉体 个 1 6寸热板（Assembly, Heated, Paddle, PLSH & PLTD, HDWR, 6"） 个 1 纯水气动阀（带调节） 件 2 石英紫外灯 件 2 滑动密封氟塑料圈 件 2 oxide压环（6寸） 个 2 GATE STOP 门销 件 4 托盘槽盖 套 1 油泵 个 1 BF3减压阀 个 1 chain，pitch link 隔离阀链条 套 2 elevator control board 个 1 motor/gearhead，driver assy 驱动马达 个 2 电路板 个 1 新区进口LPCVD蝶阀 个 1 新区进口LPCVD蝶阀控制器 个 1 新区进口氧化炉源炉热偶 个 1 MASK THETA MOTOR DRIVER步进电机驱动板卡 块 1 国产6寸LPCVD泵口真空计 个 1 国产6寸LPCVD泵口真空开关 个 1 国产6寸氧化炉PRO热偶 个 1 国产6寸氧化炉SPK热偶 个 10 国产6寸氧化炉源炉热偶 个 1 320钼磨轮 个 1 DFD641旋转盘弹簧 个 2 阳极板 个 5 large face 白 个 3 large face（6寸） 个 6 O-RING 个 10 O-RING 个 10 O-RING 个 10 O-RING 个 10 O-RING 个 10 O-RING 个 10 oxide压环（6寸） 个 2 showerhead(6寸SIO2) 个 2 热偶规 件 20 双边绝缘柱 件 50 放电枪绝缘柱/氮化硼 个 100 NCS测高光纤 双 2 EB-406M火山口 个 3 源挡板 个 10 热偶 个 10 驱动器 个 1 oldham coupling 个 2 parallel key 个 2 纯水气动阀（带调节） 件 1 顶针 件 3 热偶 件 2 Arm PCB板 个 1 LAMP FALURE DETECTION 个 1 不锈钢螺钉 个 15 电机 个 1 主控制器 件 2 真空吸嘴 个 100 LSA激光管 件 1 6寸focus ring（Ring, FAC, 6", ESC, GD R, Semi） 个 1 法拉第腔石墨板 件 2 E/B 枪灯丝Filament 个 30