碳化硅PECVD工艺设备研发项目PECVD设备平台国产真空泵爱德华真空泵
碳化硅PECVD工艺设备研发项目PECVD设备平台国产真空泵爱德华真空泵
项目名：碳化硅PECVD工艺设备研发项目PECVD设备平台 国产真空泵 爱德华真空泵
编号：Z********
日期：2024-05-29
采购单位：中国电子科技集团公司第二研究所
（碳化硅PECVD工艺设备研发项目）的中标结果公告
一、项目概况
（1）项目名称： 碳化硅PECVD工艺设备研发项目
二、评标结果
（1）名称： 无锡展硕科技有限公司 北京通嘉宏瑞科技有限公司 思翠科技（上海）有限公司
（2）中标内容： PECVD设备平台 国产真空泵 爱德华真空泵
（3）中标价格： *******.00 ******.00 ******.00 元
三、其他
（1）本公告的发布日期：2024年05月29日
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