一、项目名称：原子层沉积机

二、项目编号：S*******

三、采购人：苏州大学采购与招投标管理中心

地址：江苏省苏州市东环路50号凌云楼0904室

邮编：******　　　　　　　传真：0512-********

联系人：丁老师　　　　　　电话：0512-********，********

电子邮箱：dingy@suda.edu.cn

技术联系人：陈老师　　　　电话：151*****011

电子邮箱：wjchen@suda.edu.cn

四、采购货物品名、数量及主要性能参数要求

原子层沉积机　　1套

（一）主要技术性能指标要求

1.腔室：外热式单腔腔室；

2.样品台配有可拆卸片托，最大可放置8英寸晶圆；

3.最高反应温度不得超过150℃，温度控制精度±1℃；

4.二路标准加热液态前驱体源，配置高温快速ALD阀（响应时间＜10ms）、手动阀、50ml不锈钢源瓶，源瓶及管路加热温度RT-200℃，控制精度±1℃；

5.一路常温源，配置快速ALD阀（响应时间＜10ms）、手动阀、50ml不锈钢源瓶；

6.两路载气系统，全套管路+VCR密封，前驱体源管路具有在线清洗功能；

7.预留一个金属源接口，一个臭氧接口；

8.整机极限真空＜5×10-2Torr，真空漏率＜5×10-7 Pa?L/S；

9.腔室抽气管路配有加热套，加热温度最高150℃；

10.机械泵额定抽速≥60m3/h

11.真空泵前级配置热阱，加热温度最高可达500℃，用于吸附、分解未反应的前驱体源；

12.双真空计，真空计前设有保护真空计的高效过滤网以及气动隔膜阀；

13.高精度PLC+工控机沉积自动控制系统，可视化操作界面，可实时显示系统各部分运行状态，可方便调节温度、流量、脉冲时间等参数，编辑并保存配方参数；软件设置中反应温度不可超过150℃；具有多用户权限分配，软硬件互锁，异常报警、紧急停机等功能；人机界面：外挂式触摸屏，可自由选择悬停位置；

14.验收标准：以厂家提供的成熟的工艺配方进行验收，在8英寸硅晶圆基底上通过300次循环沉积氧化锡薄膜，以晶圆上至少13个均匀分散点进行椭偏仪膜厚测试，验收合格标准为膜厚非均匀性≤±1%；

（二）主要配置要求

1.反应腔室

2.样品台

3.前驱体源系统：2个金属前驱体源、1个水前驱体源

4.真空系统：机械泵+薄膜真空计+皮拉尼真空计+热阱

5.控制系统：PLC+工控机+触摸屏

6.对接口：设备可以和3只手套箱对接

（三）质保期不少于1年（验收合格后起算）。

五、评分标准

本次磋商采用综合评分法，总分为100分，具体内容如下：

（一）技术参数、配置及整体综合性能分（50分）

1．技术参数及配置（35分）

以供应商提供的能直接反映该产品技术参数的彩页或产品说明书等作为主要评判依据，其他情况由磋商小组根据实际情况进行评判。

（1）所提供产品多项不满足磋商公告要求（偏离），或参数偏离超出用户教学、科研可接受范围的，经磋商小组评审可作为无效响应文件。

（2）所提供产品不满足磋商公告要求（偏离）、配置不详、技术参数不明确、缺漏项的，每处扣4分。

2．综合性能情况（15分）

（1）所提供产品性能参数优于竞争性磋商文件中技术要求情况（磋商小组认为超出指标有意义的）（6分）。其中优于项，每处加2分。

（2）所提供产品的市场反馈情况（9分）。根据所提供产品的品牌影响力、市场占有率（同行业为主）、现有用户的反馈情况、使用所提供产品发表的学术论文情况等综合评定。

（二）价格分（35分）

1．基准价：满足竞争性磋商文件要求且价格最低的报价为基准价，基准价为满分35分；

2．其他供应商的报价得分按照下列公式计算：报价得分＝（基准价／报价）×35分。

（三）综合商务（15分）

1．综合实力（3分）

根据供应商综合实力评定。

2．售后服务与培训情况等（10分）

（1）质保期（3分）。符合磋商文件要求的，得1分，每增加一年质保期加1分。

（2）服务、技术支持与培训承诺情况（7分）。

根据磋商响应文件的相关承诺、服务网点设置情况、服务响应时间、现有用户对产品售后服务情况及服务水平的反馈等综合评定。

3．其它优惠措施等（2分）

根据供应商提供的在磋商文件要求范围以外，磋商小组认可的优惠措施综合评定。

六、磋商响应报价应包括所报仪器设备费、安装调试费、测试验收费、培训费、运行维护费、税金（含美国产品被加征关税）、国际国内运输费、保险和其他为完成本项目所发生的一切费用。

七、供应商资质要求

（一）具有独立承担民事责任的能力；

（二）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；

（三）具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；

（四）有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录；

（五）近三年内，在经营活动中没有重大违法记录；

（六）本项目不接受联合体报价。

八、磋商响应文件的组成

（一）磋商响应文件一般由下列材料组成（部分表格样式见附件1），复印件须加盖供应商公章，所有材料须按序装订成册：

1. 目录（磋商响应资料与页码对照表，原件）。

2. 磋商响应函（原件）。

3. 响应基本情况一览表（原件）。

4. 详细配置清单（原件）。

5. 技术规格偏离表（原件）。

6. 公司简介（包括公司资质、公司业绩、公司荣誉等，原件）。

7. 资格证明材料

（1）营业执照、税务登记证以及组织机构代码证（复印件）。

（2）法定代表人授权书（原件）。

（3）法定代表人身份证明材料（如身份证、护照等）（复印件）。

（4）法人授权代表身份证明材料（如身份证、护照等）及单位社保证明（复印件）。

（5）供应商最新的年度审计报告或财务报告（复印件）。

（6）仪器设备生产或经营企业许可证（复印件，特殊行业必须提供）。

（7）仪器设备销售代理授权证明（进口货物非生产制造厂商投标的，须按第2.2条要求提供，专项授权书提供原件、代理证书提供复印件）。

（8）有关质量认证中心出具的质量体系认证证书（例如：ISO、FDA、CE、3C等，国家强制要求的设备必须提供，复印件）。

（9）近三年来与本次磋商仪器设备相同产品的用户名单及联系方式（以教学、科研用户为主，原件）。

8. 服务措施、服务承诺（主要包括针对本项目的服务、培训方案及其他优惠措施等）（原件）。

9. 供应商认为应该提供的其他材料。

（二）特别说明

1. “磋商响应文件”应装订并密封，并加盖投标单位公章。

2. 正本一份，副本三份，如副本与正本有出入，以正本为准；

3. 相关材料及填写规范按照《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》第三条“投标文件”中的具体要求执行。

九、货物交货期、交货地点、付款方式、安装、调试、验收以及售后服务等相关商务要求，参照《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》第21条中的要求执行。

十、磋商文件价格：人民币300元（相关缴纳事宜详见附件3），售后不退。

十一、供应商在报名前，须认真阅读《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》和本磋商公告，完全了解并接受其所有条款及要求，并在2024年6月7日12：00前将报名函（格式见附件）发送邮件至采购人处（dingy@suda.edu.cn）。

十二、递交磋商响应文件相关事宜：

（一）顺丰快递（建议优先采用）

1. 寄达时间：2024年6月13日9：00前；

2. 收件人信息：

　收件人：丁老师

　联系方式：138*****427

　收件地址：江苏省苏州市东环路50号凌云楼0904室

（二）现场递交

1. 现场递交时间：2024年6月13日8：30～9：00

2. 现场递交地点：江苏省苏州市东环路50号苏州大学东校区东大门

十三、递交磋商文件截止时间：2024年6月13日9：00。

十四、磋商时间：2024年6月13日9：00。

磋商性公告附件.rar