纳米压印模板母版清采比选号采购公告
纳米压印模板母版清采比选号采购公告
采购项目名称：纳米压印模板母版
采购单位：北京市清华大学
付款方式：合同签订后70%，验收合格后30%
签约时间要求：成交后10个工作日内
交货时间要求：签订合同后60个工作日内
交货地址：北京市清华大学
技术参数及配置要求：刻蚀线宽：≤30nm 周期：80nm 单个线长度：400μm 图形化总面积区域：5mm×5mm 图形化单元区域：400μm×400μm 图形化单元区域间隔：50μm 刻蚀深度:≥150 nm 刻蚀侧壁角度：≈90°
质保期：12个月
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