H94-25C型4单面光刻机招标公告
H94-25C型4单面光刻机招标公告
| 基本信息： | |
| 申购单主题： | H94-25C型4″单面光刻机 |
| 申购单类型： | 竞价类 |
| 设备类别： | 仪器仪表 |
| 使用币种： | 人民币 |
| 竞价开始时间： | 2016-07-05 09:27 |
| 竞价结束时间： | 2016-07-12 10:00 |
| 申购备注： | |
| 申购设备详情： |
| H94-25C型4″单面光刻机 | 1 | 四川南光真空科技有限公司 | H94-25C | 是 | 按行业标准提供服务 | 1．曝光类型：单面；2．曝光面积：≥φ115mm；3．曝光不均匀性：≤±3%；4．曝光强度：≥20mw/cm2（365nm波长），可调；5．曝光分辨率：1μm；6．曝光模式：可选择一次曝光或套刻曝光模式；7．显微镜扫描范围：X：±40mm Y：±35mm；8．对准范围：X、Y粗调±3mm，细调±0.3mm ；Q粗调±15°，细调±3°；9．对准精度：1μm；★10．分离量；0～50μm可调； 11．接触－分离漂移：≤1μm；12．曝光方式：密着曝光，可实现硬接触、软接触和微力接触曝光；13．找平方式：三点式自动找平机构；14．显微系统：双视场CCD系统，显微镜45X～300X连续变倍（物镜1.1X～7.5X），双物镜距离可调范围：11mm～100 mm，计算机图像处理系统，19″液晶监视器；15．掩模版尺寸：2.5″×2.5″(或3″×3″)、4″×4″、5″×5″； 16．基片尺寸：φ2″、φ3″、φ4″，碎片；17．基片厚度：≤5 mm；18．曝光灯功率：直流350W；19．曝光定时：0～999.9秒可调；20．对准方式：切斯曼对准机构；21．曝光头转位：气动； 22. 电源：单相AC220V 50HZ ，功耗≤1KW；23．洁净空气压力：≥0.4MPa；24．真空度：-0.07MPa~-0.09MPa； 25．尺寸： 920mm（长）×680mm（宽）×1600mm（高）；26．重量：约170Kg。5）扫描机构一套；6）LED同轴照明光源二台。3．对准工作台：1）2.5″×2.5″（或3″×3″）、4″×4″、5″×5″版架各一件；2）φ2″、φ3″、φ4″承片台各一件；3）三点式自动找平机构一套；4）切期曼对准机构一套；5）微分离机构一套；6）旋转机构一套。4．电气控制台：1）PLC可编程控制器一台；2）350W直流汞灯电源一台；3）定时器一台；4）电磁阀及控制系统一套；5）数字式气动、真空仪表一套；6）控制台一套。 | 无 |
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