电子束蒸发镀膜机招标公告

招 标 正 文
 

电子束蒸发镀膜机招标公告




目名称电子束蒸发镀膜机项目编号XF-WSBX-*******
公告开始日期2024-06-11 09:36:29公告截止日期2024-06-18 11:00:00
采购单位浙江大学付款方式货到付款，甲方在到货验收后15日内向乙方一次性支付本项目的总额
联系人成交后在我参与的项目中查看联系电话成交后在我参与的项目中查看
签约时间要求成交后7个工作日内到货时间要求成交后120个工作日内
预算总价￥ 400,000.00
收货地址浙江省杭州市浙江大学紫金港校区西区理工组团合同苑10幢
供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件




采购清单1
采购商品采购数量计量单位所属分类
电子束蒸发镀膜机1台电子工业生产设备

预算单价￥ 400,000.00
技术参数及配置要求1.真空室数量：单室，不锈钢桶形立式结构，前开门形式
2.真空室规格：Φ600mm×H600mm
3.极限真空：6.7×10-5 Pa（环境湿度≤55%）
4.抽气速率：采用N2充气短暂开腔后，从大气抽至9.0×10-4Pa所需时间≤40min
5.系统升压率：设备抽至极限以后关机12小时，真空室压力≤5.0Pa
6.可蒸发材料：金属、非金属、有机物、陶瓷等材料
7.蒸发舟至样片中心距离为：330mm-370mm
8.热阻蒸发单元：两套蒸发电极，兼容蒸发舟、螺旋蒸发丝，带有自动档板；蒸发电源功率≥3KW，可在两套蒸发电极之间自动切换，并支持不同阻值的蒸发舟。
9.电子束蒸发单元：最大功率：不小于10KW；阳极电压：-8KV-10KV两档可调；束流：0~1000mA@10KV；电子束偏转角度：270°（e型）；磁场电源：X、Y方向偏转电流分别±2.0A可调;扫描频率均为10~250Hz；坩埚数量及容量：不少于6个15cc容量坩埚，带自动挡板，坩埚可自动旋转换位
10.膜厚监测系统：监测厚度显示范围：0~99μ9999？；厚度显示分辨率：1？；速率显示范围：0~9999.9？；速率显示分辨率：0.1？/S；监测时间显示范围：1分~99小时
11.水冷工件盘：可调速自转，转速1~10rpm可调。
12.样片尺寸及数量：平面水冷工件盘最大尺寸Φ6英寸1片
13.镀膜不均匀性：≤±5%（平面工件盘Φ6英寸范围内）
14.配套设备运行所需的循环水机及空气压缩机
售后服务服务网点:当地;电话支持:7x24小时;质保期:1年;服务时限:报修后4小时;销售资质:协议供货商;商品承诺:原厂全新未拆封正品;1、保证提供符合国家质量检测标准的、完好的、全新的、未开封的原厂生产产品（包括零配件），并提供技术彩页及其他相关技术支持和产品说明文件、产品合格证等，并对货物负责安装集成、调试。2、保修期内,一旦发生质量问题，接到用户报修信息后，2小时内响应，如不能电话支持解决故障，48小时内赶到现场进行修理或更换。3、12个月保修期后，承诺同样提供免费电话咨询服务, 服务响应时间与保证期内一致，同时备品备件以合理优惠价格供应。;

浙江大学

2024-06-11 09:36:29





标签: 蒸发镀膜 电子束

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