上海市上海交通大学磁控薄膜沉积系统国际招标公告1包
上海市上海交通大学磁控薄膜沉积系统国际招标公告1包
上海市机械设备成套(集团)有限公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2024-06-12在公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:上海交通大学拟采购磁控薄膜沉积系统
资金到位或资金来源落实情况:现招标人资金来源已落实
项目已具备招标条件的说明:具备了招标条件
2、招标内容
招标项目编号:1639-244*****0246
招标项目名称:上海交通大学磁控薄膜沉积系统
项目实施地点:中国上海市
招标产品列表(主要设备):
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 磁控薄膜沉积系统 | 1 | 镀膜均匀性指标:3英寸靶枪在6英寸硅片镀制150nm以上的薄膜,均匀性不大于+/-5%,从基片中心到基片边缘每隔0.5英寸取一个测量点(去掉5mm边缘),使用台阶仪对每个点测量三次,取平均值,均匀性计算公式:±均匀性=((最大–最小) / (2 ×平均))× 100% |
标签: 磁控薄膜沉积
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