离子注入机招标公告

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离子注入机招标公告




一、项目名称：离子注入机 二、项目内容 技术要求： 晶圆尺寸 碳化硅6英寸 注入能量范围 30~380keV 能量精度 "≦±0.5千伏（100keV以下） ≦±1%（100keV以上）" 注入元素 Al、N、P、B 注入角度 0°～45°自动可调，角度精度≤0.3° 注入均匀性 1σ≤0.5% 注入重复性 1σ≤0.5% 剂量范围 5E11～1E16 ions/cm2 注入最高温度 550℃ 靶台控温精度 ±2℃ 束流稳定性 ≤10% 束流平行度 ≤0.3°（六英寸） 三、联系人：张先生 联系电话：134*****136 四、该项目通过线下对接报名，产品验证通过后列入供方名录方可实施采购。 五、如有意向需将以下信息发送至邮箱：jygl@cetc2.com； 反馈要求：1、附公司营业执照、质量体系等资质文件；2、务必注明“全军武器装备信息采购网”中供货意向公告的统一信息编码；3、备注联系人及联系方式）

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