项目名：备件采购
编号：无
日期：2024-06-14
采购单位：无锡中微晶园电子有限公司

E/B 枪整套 个 1 钢瓶垫片 个 10 六槽坩埚 件 1 电子枪陶瓷 个 48 干涉仪激光管 个 1 5寸吸盘 个 1 钨针 件 10 电子枪灯丝 个 40 3/8"NC气动阀门 ALUM 件 1 去胶腔手臂 个 1 SIN小喷头 件 1 O-RING 件 50 热电偶 个 1 o-ring 件 18 o-ring 件 20 O-RING 只 30 O-RING 个 50 腔盖加热组件（原厂全新件） 个 1 隔热垫 件 5 susceptor(6寸SIO2) 个 1 气体分配器 件 2 1200钼磨轮 个 1 绝缘柱 件 120 干涉仪激光管 个 1 六槽坩埚 件 1 清洗机回流盖 个 3 流量计 个 1 320钼磨轮 个 1 干泵 台 1 汞灯 件 4 汞灯 件 2 Ground Aperture 个 4 Bias Aperture 个 2 FEEDTHRU UNSULATOR 个 4 MHV FEEDTHRU 个 4 INSULATOR 个 6 INSULATOR 个 2 FiLament strap（1） 个 2 FiLament strap（2） 个 2 绝缘垫片vespel 个 6 绝缘垫片 个 12 卡销 件 100 探针 盒 1 探针更换工具 件 1 加热灯罩玻璃 个 20 气体分配盘 件 10 压环 件 2 SIN气体分配器 件 2 稀释排放阀 套 2 驱动器 个 1 钨舟扇形托盘 个 5 O形圈 个 2