项目名：备件采购
编号：无
日期：2024-06-21
采购单位：无锡中微晶园电子有限公司

同步钢带40" 个 2 同步钢带30" 个 2 O型圈（227.97*5.33） 件 10 单边轴承滑块 个 6 oxide压环（6寸） 个 2 6寸聚焦环 个 1 上电极（铝、国产） 个 1 6寸focus ring（Ring, FAC, 6", ESC, GD R, Semi） 个 1 去胶腔内门门封 个 2 showerhead(6寸SIO2) 个 2 oxide压环（6寸） 个 2 320钼磨轮 个 2 上电极（铝、国产） 个 1 线缆 个 1 气缸 个 1 weldment GAS Feed line Flex 个 1 Apex服务器 台 1 钨舟扇形托盘 个 3 1200钼磨轮 个 1 6寸前置承片盘弹簧 个 300 陶瓷手臂PULLOUT ARM 件 1 水过滤器 件 4 马达控制器 个 1 氟胶密封圈 个 10 Pittman电机 件 2 Assembly，Switch Vacuum 个 1 六槽坩埚 件 1 深槽TCU冷却液 桶 1 石英检测窗 件 2 O形圈 件 2