上海积塔半导体有限公司特色工艺生产线建设项目国际招标公告1/81
上海积塔半导体有限公司特色工艺生产线建设项目国际招标公告1/81
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
4197-2340SHJT0002/81 | 外延附属纯化器设备 | 2台+2台 | 要求设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | |
4197-2340SHJT0002/82 | 铜金属层化学机械研磨机 | 1台 | 要求设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | |
4197-2340SHJT0002/83 | 后端钨金属化学机械研磨机、互联介电层化学机械研磨机、铜金属层化学机械研磨机 | 1台/3台/1台 | 要求设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 |
标签: 特色工艺生产
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