CVD干泵Harsh、IMP干泵Harsh、DET干泵Harsh国际招标公告1/78
CVD干泵Harsh、IMP干泵Harsh、DET干泵Harsh国际招标公告1/78
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | CVD干泵Harsh、IMP干泵Harsh、DET干泵Harsh | CVD干泵Harsh:56台,IMP干泵Harsh:10台,DET干泵Harsh:10台 | (1)干泵主要为面板行业真空主设备的配套抽真空设备; (2)采用N2对腔体内部进行吹扫,防止粉尘堵塞; (3)采用N2对腔体密封面吹扫,防止密封圈腐蚀。 | 0730-244*****0007-78 |
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