CVD炉招标公告

CVD炉招标公告



CVD炉(XF-WSBX-*******)采购公告
项目名称CVD炉项目编号XF-WSBX-*******
公告开始日期2024-07-16 17:25:49公告截止日期2024-07-23 19:00:00
采购单位浙江大学付款方式货到付款,甲方在到货验收后15日内向乙方一次性支付本项目的总额
联系人成交后在我参与的项目中查看联系电话成交后在我参与的项目中查看
签约时间要求成交后7个工作日内到货时间要求成交后120个工作日内
预算总价¥ 330,000.00
收货地址玉泉校区硅及先进半导体材料全国重点实验室3-101
供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件





采购清单1
采购商品采购数量计量单位所属分类
CVD炉1其他锅炉

预算单价¥ 330,000.00
技术参数及配置要求炉内恒温时间:1000℃保温 0.5-4 小时
加热方式: 内嵌电阻丝模块圆周外加热;
电阻丝:Kanthal(康泰尔)高温电炉丝
装机功率:9kw±10%;
典型保温功率:≤5Kw±10%
温控系统:威纶通触摸屏+WEST 温控模块(集成无纸记录)
温控表精度:0.3
功率调整器:伯特
温区个数:3 个
控温点数:3 点
报警保护:超温、断偶、声光报警保护(指示灯指示)
设备表面温升:<50℃
氮气流量计:AZBIL 质量流量计
氩气流量计:和氮气共用(优化氮气质量流量计选型,可互换氮气氩气。无需重复安装)
乙炔流量计:AZBIL 质量流量计
硅烷流量计:AZBIL 质量流量计
电 源:三相,380VAC,50Hz
筒体材料: 310s 不锈钢;(沈钢,内壁作打磨处理)
耐火材料: 硅酸铝纤维模块及毯;
筒体转速: 0.15~1.9转/分( 变频可调);
炉体倾角: -2~15 度(可调);
310s筒体壁厚:6mm
筒体工作区总容积:6.7L
筒体有效装填量:0.06-0.7L 批次处理物料:30-200g
售后服务服务网点:当地;电话支持:5x8小时;质保期:1年;服务时限:报修后24小时;销售资质:协议供货商;商品承诺:原厂全新未拆封正品;

浙江大学

2024-07-16 17:25:49






联系人:郝工
电话:010-68960698
邮箱:1049263697@qq.com

标签: CVD

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