2吋靶材4吋样品PVD薄膜设备采购项目国际招标公告1/02
2吋靶材4吋样品PVD薄膜设备采购项目国际招标公告1/02
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 2吋靶材4吋样品PVD薄膜设备 | 1 | 1、设备含1个薄膜生长真空腔室#1(腔室#1)、1个薄膜生长真空腔室#2(腔室#2)和1个预真空室(Load-Lock)。 2、腔室#1和腔室#2分别配备不少于9支和4支靶枪。 3、腔室#1和腔室#2的极限真空优于或等于9×10-9Torr。 |
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