深反应等离子刻蚀设备国际招标公告(1)
深反应等离子刻蚀设备国际招标公告(1)
江苏海外集团国际工程咨询有限公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2016-08-10在公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:详见招标文件。
资金到位或资金来源落实情况:已落实。
项目已具备招标条件的说明:项目已经上级主管机关备案
2、招标内容
招标项目编号:0675-164JOC105148
招标项目名称:深反应等离子刻蚀设备
项目实施地点:中国江苏省
招标产品列表(主要设备):
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 深反应等离子刻蚀设备 | 1套 | ★1、刻蚀工艺温度:<100℃★2、双等离子体源:主源功率≥3000W,副源功率≥1500W★3、下电极静电吸附卡盘 |
标签: 等离子
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