采购项目名称：高真空金属蒸发镀膜机
采购单位：北京市清华大学
付款方式：合同签订后70%，验收合格后30%
签约时间要求：成交后20个工作日内
交货时间要求：签订合同后120个工作日内
交货地址：北京市清华大学
技术参数及配置要求：1. 真空腔室： 镀膜室尺寸：L400mm×W440mm×H450mm；SUS304优质不锈钢真空腔室；方箱式；前门水平滑开式，可便于在手套箱内操作；后门为侧开门，便于设备清理维护； 特点：镀膜室配置独立机架，可在脱离手套箱条件下单独调试和使用，与手套箱之间通过镀膜室前门框密封连接，对接方便、密封安全可靠； 腔室预留接口，后期需要通反应气体。 2. 真空系统： 复合分子泵+直联高速旋片式真空泵+高真空阀门+数显复合真空计； 3.真空极限： 5.0×10-5Pa（设备和手套箱分体，设备空载，抽真空24小时）； 3. 升压率： 设备升压率：≤0.8Pa/h（12小时平均值）； 设备保压：停泵12小时后，设备真空度≤10Pa； 5. 抽速： 从大气抽至8.0×10-4Pa≤40min（不带手套箱，设备空载）； 从大气抽至8.0×10-4Pa≤10min（设备空载，干燥氮气环境）； 6. 基片台： ①基片台尺寸120×120mm，最大样品尺寸小于120×120mm；配有基片台挡板； ②旋转转速0～20转/分钟，可调可控； ③升降基片台可调节范围70mm，蒸发源与基片距离约260-330mm； ④基片台间接水冷。 7. 蒸发源及电源： ①金属蒸发源：水冷铜电极4组； 逆变式蒸发电源：功率3kW；2台（1台电源可切换供2组电极分时蒸镀）； ②蒸发源配气动挡板及源间防污隔板。 8. 控制方式： PLC+触摸屏控制； 9. 报警及保护： 对缺水进行报警并执行相应保护措施；完善的逻辑程序互锁保护系统； 10. 工作气路系统： ①质量流量控制器：O2，20sccm； ②电磁截止阀：Φ6mm ； ③气管：EP 管道，内外抛光金属
质保期：12个月
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