线宽测量仪国际招标公告2/85
线宽测量仪国际招标公告2/85
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 线宽测量仪 | 4台(线宽测量仪4台) | (1)设备由腔体、测量平台、高分辨率CCD显微镜、图像处理器、干涉仪和线性马达等构成,用于测量TFT线宽、曝光套刻精度,并能够自动把曝光套刻精度和线宽的测量数据反馈给曝光机; (2)基板尺寸:全板1500mm*1850mm; (3)设备有静电消除器安装位置。 | 0730-244*****0007-85 |
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