北航集成电路科学与工程学院小型磁控溅射设备采购公告
北航集成电路科学与工程学院小型磁控溅射设备采购公告
1. 采购货物有关信息
1、采购货物相关信息：
（1）货物名称：小型磁控溅射设备
（2）技术指标：
序号 | 货物/服务名称 | 详细参数要求 |
1 | 小型磁控溅射设备 | |
1.1 | 设备配置 | 设备配置清单： 1. 阴极数量：2个圆形阴极； 2. 配备机械泵； 3. 配置直流电源实现溅射； 4. 可调进气流量设置； 5. 一路进气配置； 6. PLC实现系统自动控制环境约束； |
1.2 | 项目技术及质量要求 | 1. 要求紧凑型设计，设备总体积小于1000mmX1300mmX1700mm 2. 配备真空腔体，上盖可灵活打开更换样品和靶材； 3. 配备机械泵组，可实现系统的自动抽真空，真空度优于9X10-3Pa； 4. 配置直流电源和切换器，最高功率500W； 5. 配置2inch圆形强磁靶枪和2inch圆形普磁靶枪各一套； 6. 配置全量程真空计，量程范围：5X10-9-1X103mbar； 7. 配备电动样品台，旋转速率可调； 8. 配备流量计实现Ar气的注入，配备进气管路和排空； 9. 所有设备由PLC实现控制，配备触摸屏和人机界面； |
2 | 售后服务 | |
售后服务 | 1、供应商应具备完善的售后服务体系，供应商有固定的维护人员并有能力及时处理所有可能发生的故障。 投标单位投标时必须在投标文件中明确地提供售后服务机构或厂家、地址、电话、联系人等资料。 2、在保质期以内，投标人在接到客户的维修通知对故障能在2小时内响应，4小时内派出有能力的维修人员赶到客户现场进行维修处理。 3、在保质期满后，投标人应保证以合理的价格提供备件和保养服务，当发生故障时，投标人应按保质期内同样的要求进行维修处理，合理收取维修费。 4、质保期1年。 | |
（3）数量：
序号 | 产品 | 数量/单位 |
1 | 小型磁控溅射设备 | 3套 |
（4）交货期：收到货款后60天内
（5）交货地点：北京航空航天大学学院路校区
（6）是否接受进口产品：否
2、采购预算（最高总限价）：69万
3、参选单位资格要求：
（1）在中华人民共和国境内注册、响应招标、参加响应竞争的法人、其他组织或者自然人；
（2）响应人（供应商）应具备《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；
① 具有独立承担民事责任的能力；
② 具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；
③ 具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；
（3）本项目不接受联合体响应；
（4）本项目不允许转包、分包；
（5）近三年内，本项目响应截止期前，被“信用中国”网站列入失信被执行人和重大税收违法案件当事人名单的、被“中国政府采购网”网站列入政府采购严重违法失信行为记录名单（处罚期限尚未届满的），不得参与本项目；
（6）法律、行政法规关于“合格响应人”的其他条件。
4、报名方式及截止时间：
报名方式：将报名信息（公司名称、地址、营业执照扫描件、销售人员姓名、联系方式等）发送至邮箱bhsme@buaa.edu.cn。截止报名时间：2024年 8月12日17时。
5、竞价会时间及方式：
时间：2024年8月13日；方式：采取视频会议方式。具体时间和开会方式由学院采购工作领导小组办公室进一步通知。
6、参加竞价会所需提供材料：
8月12日18:00前，参选供应商需将正式书面报价单和报名资料（均需加盖单位公章并密封好）邮寄至以下地址：
地址：北京市海淀区学院路37号北京航空航天大学北区快递站
柳洋 老师收，手机号：187*****677
7、采购项目经办人联系方式（采购项目咨询）：
柳洋 老师收，手机号：187*****677
8、学院采购工作领导小组办公室联系方式（异议或投诉）：
邵老师，bhsme@buaa.edu.cn或010-********（上午9点-11:30；下午14:30-17:00）
标签: 小型磁控溅射
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