可编程光子芯片加工服务采购公告
可编程光子芯片加工服务采购公告
项目名称 | 可编程光子芯片加工服务 | 项目编号 | XHGD-CG-******* |
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公告开始日期 | 172*****29000 | 公告截止日期 | 172*****00000 |
采购单位 | 西湖大学光电研究院 | 付款方式 | 预付40%,服务验收通过后支付60% |
联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
签约时间要求 | 无 | 到货时间要求 | 无 |
预 算 | ******.0 | ||
收货地址 | 无 | ||
供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 |
采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
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可编程光子芯片加工服务 | 1 | 项 | 无 |
品牌 | 无 |
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型号 | 无 |
品牌2 | 无 |
型号 | 无 |
品牌3 | 无 |
型号 | 无 |
预算 | ******.0 |
技术参数及配置要求 | 可编程光子芯片加工服务对电子束曝光(EBL)精度需求为:1.最小线宽精度≤50 nm;2.最大曝光面积≥15mmx15mm;3.提供EBL曝光剂量优化调整服务;4.可提供4寸晶圆规模套刻电子束曝光,套刻精度20 nm以内;若为进口服务投标,请按人民币报价(报价需包含外贸代理费) |
售后服务 | 质保期:一年;收到样品后需在一个星期内完成代工服务; |
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