采购项目名称：原子层沉积系统
采购单位：北京市清华大学
付款方式：货到付款100%
签约时间要求：成交后30个工作日内
交货时间要求：签订合同后30个工作日内
交货地址：北京市清华大学
技术参数及配置要求：设备组成： (一)设备采用不锈钢设备框架、反应器及管路附件； (二)样品基片尺寸：4英寸； (三)反应器加热温度：室温～350 oC； (四)4路前体源：每路包含高温高速ALD专用阀门（美国世伟洛克）、不锈钢试剂瓶、试剂瓶阀门；4个加热套，可对管路和3路源进行加热（室温～200 oC）； (五)所有前体源、载气管路采用不锈钢管路、以及进口不锈钢VCR接口； (六)采用8通道阀岛（德国费斯托）集成气动控制系统（最大可扩展至7路前体源）； (七)采用8通道高精度PID温控系统（厦门宇电）； (八)载气采用数字流量计（七星华创）程序控制； (九)真空泵系统：真空机械泵与相关管路； (十)尾气吸附肼1套，真空泵上面配备专用油雾过滤器，以吸附过量的反应物，从而保护真空泵； (十一)臭氧系统：高浓度臭氧发生器及相关管路；臭氧流量为数字流量计控制，控制精度可达到+/-0.3sccm； 预装Windows笔记本电脑；集成整合界面自动控制软件；程序控制两种工作模式（Flow type和Close type）可选。
质保期：60个月
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