本招标项目侧墙刻蚀机招标人为中国电子科技集团公司第二十四研究所，招标项目资金来自国拨资金，出资比例为100%。该项目已具备招标条件，现对侧墙刻蚀机进行国内公开招标。

2.1 招标编号：ZKX********A049

2.2 招标项目名称：侧墙刻蚀机。

2.3 数量：1台。

2.4 主要功能要求：半导体制造工艺中，侧墙刻蚀是形成LDD结构必不可少的一个环节。侧墙结构一般为OX或者OX与SiN的复合膜结构，为介质刻蚀工艺，侧墙刻蚀机除了完成侧墙刻蚀工艺以外，还可以用来进行通孔刻蚀，是半导体制造中必不可少的工序。本项目采购的侧墙刻蚀机为8英寸全新国产设备、具备扩展SMIF和EAP通讯功能。

2.5 交货地点：重庆沙坪坝西永微电园西永大道23号

2.6 交货期：合同生效后7个月内。

3.1投标人须为具有独立承担民事责任能力的在中华人民共和国境内注册的法人或其他组织，具备有效的营业执照。

3.2业绩要求：投标人需提供本次投标同型号或同系列的设备从2020年至今的任意一年的销售业绩，且一年中累计销售量至少5台；须提供设备采购合同复印件，其内容须体现合同首页及签字或盖章页、合同签订时间、合同标的物及其型号。

3.3 其它要求：本次招标不接受代理商投标。

3.4本次招标不接受联合体投标。

3.5投标人必须向招标代理机构购买招标文件并进行登记才具有投标资格。

4.1凡有意参加投标者，请于2024年08月13日至2024年08月20日17时(北京时间)，登陆中招联合招标采购平台（网址：www.365trade.com.cn,注册操作咨询电话010-********）购买并下载招标文件，现场不予受理。

4.2 招标文件每套售价800元（从中招联合招标采购平台下载标书款电子发票），售后不退。

5.1投标文件递交的截止时间（投标截止时间，下同）为2024年09月03日9时30分，地点为圣荷酒店会议室（重庆市沙坪坝区西永大道36号）。

5.2逾期送达的、未送达指定地点的或者不按照招标文件要求密封的投标文件，招标人将予以拒收。

本次招标公告同时在中招联合招标采购平台和中国招标投标公共服务平台上发布。

招标人名称：中国电子科技集团公司第二十四研究所

地址：重庆市沙坪坝区西永大道23号

联系人：吴先生

电话：023-********

招标代理机构：中科信工程咨询（北京）有限责任公司

地址：北京市海淀区金沟河路与采石北路十字路口东南角88号大楼

售卖联系人：李经理

电话：028-********

项目负责人：唐玲

电子邮件：zhaobiaobu@zonkex.com