华南师范大学华南先进光电子研究院采购匀胶热板显影机一体机
华南师范大学华南先进光电子研究院采购匀胶热板显影机一体机
序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 落实政府采购政策情况 | 预算金额(元) | 预计采购日期 | 备注 |
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1 | 华南师范大学华南先进光电子研究院采购匀胶热板显影机一体机 | 标的名称:匀胶热板显影机一体机 标的数量:1.00 主要功能或目标:满足学院对于宽范围不同种类光敏材料的涂布、烘烤、显影全自动一体设备需求,具有较高的自动型以减少人为操作的误差和缺陷的产生,同时需满足微纳结构制备后对结构的精密表征功能。 需满足的要求:1.尺寸:6寸~10寸 2.转度:-3000~3000±1rpm; 3.管路:3,粘度:50~200cp; 4.去边:0~90±0.2°;1~5mm±1mm 5.VCD:120Pa; 6.热板:3个,50~250℃, R≤1.2℃ 7.显影方式:槽式显影 8.倍率:27-160X,电子 350,000X; 9.分辨率:6nm; 10.模式:背散射全面、背散射形貌、二次电子、背散射与二次电子混合; | 按规定落实。 | *******.00 | 2024年09月 |
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