光刻机维护
光刻机维护
| 商品名称 | 品类 | 采购数量 | 最少响应量 | 备注 | 备注 | 备注 |
| 光刻机维护 | 服务类 | 1.0台 | 1.0台 | 设备型号：STEPPER 5500/275D ，需要工程师上门调试 | 设备已接近维护保养期限，需要进行维护保养，机器状态参数需要重新调整 | 验收标准：维护后曝光非均匀性小于等于3%，各模块运行正常，设备满足工艺要求 |
标签: 光刻机
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