项目名：备件采购
编号：无
日期：2024-08-22
采购单位：无锡中微晶园电子有限公司

喷嘴 件 2 单槽石英缸TT4D 件 1 石英缸 个 1 单向阀 个 1 EBR 电机驱动 个 1 Switch EMO 个 3 Relay AC 24V 个 2 Socket Relay 个 2 氦气高低压减压阀、表头、管路 套 1 LC电机 件 1 oxide压环螺钉保护罩（6寸） 个 60 鼓泡板 个 1 真空计 个 1 susceptor(6寸SIN) 个 2 片夹 件 10 ISO阀 O-RING 个 1 ISO阀 O-RING 个 1 6寸聚焦环 个 1 陶瓷环 件 1 下电极（E-CHUCK） 个 1 终点视窗（Window, QTZ, Headed Endpoint） 个 1 VALVE ISO 1 1/2 MODIFICATIO 个 1 SiO2基座 件 4 顶针 件 1 坩埚挡板-300 个 5 马达 个 2 Upper Baffle 个 1 Lower Baffle 个 1 上电极 个 3 阀 个 2 电位计 个 1 热板顶针 件 6 ISO阀 个 1 离子交换树脂 件 1 汞灯 个 4 绝缘柱 件 100 6寸前置承片盘弹簧 个 250 过滤芯 个 1 过滤芯 个 1 真空计 个 1 Lower Baffle 个 1 电机 个 1 测厚仪表头 个 1 DFD641拆刀工具套组 套 2 DFD641硬刀刀座 个 2 I10 X轴丝杆 个 1 光笔 个 10 氟胶密封圈 个 8 气控阀（CKD药液阀） 个 1 1/2特氟龙软管 根 1 卤素灯 件 10 O型圈（227.97*5.33） 件 10 Filament Clamp 灯丝夹子 个 2 susceptor(6寸SIO2) 个 5 6"guide1 个 1 6"guide2 个 1 6"guide3 个 1 灯丝 件 50 放电腔盖板下薄片 件 5 加热灯罩玻璃 个 30 6寸前置承片盘弹簧 个 150 行星轴衬套 个 20 钢瓶垫片 个 20 匹配器 台 1 SIN基座 件 2 LSA激光管 件 1 Source Flange石墨 个 3 NCS光纤放大器 个 2 小喷头 件 2 O-RING 件 100 顶针 个 2 Ampule加热板 个 1 温控器 个 1 O-RING 只 30 连接器 个 10 MARK8显影电机驱动 个 1 锁刀片nut(硬刀) 个 3 oxide硅环（6寸） 个 3 showerhead(6寸SIO2) 个 2 视窗 个 6 SiO2用纸质滤芯 个 10 灯丝 件 100 1/4VCR垫片 件 300 320钼磨轮 个 2 送扯线电磁阀 个 2 线夹电磁阀 个 1 点浆头连接器 个 2 电磁阀 件 2 开关 个 2 20KV Feed thru 个 2 Graphite Shield 个 2 束阀挡板 个 2 Aperture Defining 个 2 Insulator，Mirror，60KV 个 2