华南师范大学华南先进光电子研究院采购脉冲激光沉积PLD系统
华南师范大学华南先进光电子研究院采购脉冲激光沉积PLD系统
| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 落实政府采购政策情况 | 预算金额(元) | 预计采购日期 | 备注 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 华南师范大学华南先进光电子研究院采购脉冲激光沉积(PLD)系统 | 标的名称：脉冲激光沉积(PLD)系统 标的数量：1.00 主要功能或目标：满足学院基于功能氧化物薄膜器件研究的需求。该设备可以完成高质量外延单晶薄膜的生长制备，实现高重复性、高均匀性的氧化物薄膜生长需求。 需满足的要求：1. 搭配准分子激光器、气路系统、控制系统和PLD腔体系统，具备自动化控制程序。 2. 本底真空优于9*10-6Pa; 配置程控加热源，实现程序温度控制。 3. 激光波长248nm，最大脉冲能量750mJ，能量稳定性：0.75%，最大脉冲频率10Hz，脉冲宽度20ns，功率7.5W，激光可通过系统程序控制。 | 按规定落实。 | *******.00 | 2025年01月 |
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