微纳加工平台采购采购公告

招 标 正 文
 

微纳加工平台采购采购公告

项目名称微纳加工平台采购项目编号XHGD-CG-*******
公告开始日期172*****76000公告截止日期172*****00000
采购单位西湖大学光电研究院付款方式货到验收合格后支付100%
联系人中标后在我参与的项目中查看联系电话中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求成交后15工作日到货时间要求签约后10个自然日
预 算******.0
收货地址杭州市西湖区石龙山街18号西湖大学云栖校区
供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购商品采购数量计量单位所属分类
微纳加工平台1台无
品牌无
型号无
品牌2无
型号无
品牌3无
型号无
预算******.0
技术参数及配置要求设备整体要求：采用大理石底座运动平台+钢结构机架；包含设备控制软件，能够实现自定义路径规划，与激光器等外置设备通讯并实现激光开关和激光参数调节；集成高度补偿功能硬件和软件算法，保证加工头与样品表面的距离变化在8寸幅面上控制在±2.5μm范围内。外形参考尺寸：深（D）:600-1000mm；宽（W）:800-1200mm；高（H）:1300-1700mm；微孔吸盘真空吸附：吸盘大小：200 mm*200mm；平面度：5μm；需满足8寸晶圆安装使用；高度测量范围：±1.3mm，测量精度：±0.5μm；行程：X轴行程：400mm；Y轴行程：400mm；Z0轴行程：10mm；Z1轴行程：50mm；最大负载：Y轴：5kg+直线模组；X轴：5kg+Y轴+直线模组；Z0轴：吸盘+4 kg；Z1轴：5kg；最大速度：X轴：500mm/s；Y轴：500mm/s；Z0轴：80 mm/s；Z1轴：50mm/s；加速度：X轴：0.5G；Y轴：0.5G；Z0轴：0.5G；Z1轴：0.1G；重复定位精度：X轴：± 0.2μm；Y轴：± 0.2μm；Z0轴：±0.5μm；Z1轴：±2μm；定位精度：X轴：± 0.5μm；Y轴：± 0.5μm；Z0轴：±1μm；Z1轴：±5μm；平面度：X轴：3-4μm；Y轴：3-4μm；Z1轴：4-6μm；装配样品情况下精度：X/Y/Z轴重复定位精度±0.5μm；X/Y轴定位精度±0.5μm；Z轴定位精度±1μm；装配样品情况下：X/Y轴以300 mm/s速度移动，加速度1 m/s2时，Z方向的匀速段抖动不超过5μm（以高度测量系统的测量数据为依据）；软件：1.具备用户身份设置和权限管理功能，支持用户登录日志记录和审计追踪，确保操作可追溯；2.具备工艺参数存储功能，可保存常用的工艺参数，便于快速调用；3.具备设备状态实时监测，提供设备运行状态的全面信息；4.具备多种传感器接口，支持更换不同型号的测距传感器；5.具备软件升级功能，支持离线的系统更新；6.具备硬脆材料内部裂纹自动识别和定位功能。注：若为进口设备投标，请按人民币报价（报价需包含外贸代理费）
售后服务质保期:一年;可以提供后期设备改装或者新功能增加服务;

报价地址：https://www.yuncaitong.cn/publish/2024/08/26/20M0AE1Y3GQAHJ2X.shtml

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