序号

采购项目名称

采购需求概况

预算金额

（万元）

预计采购时间

（填写到月）

备注

1

双光子微纳3D打印系统

双光子微纳3D打印系统利用激光在焦点处引发光刻胶的双光子吸收，实现高精度聚合，构建微纳尺度三维结构。具有分辨率高、细节精细、加工自由度高的特点，适用于复杂微纳器件的制造，广泛应用于生物医学、微流体学、力学和光子学等领域。采购标的数量：1套；维保期间对任何仪器故障提供4小时电话响应，48小时内免费上门服务。

1290

2024年10月至12月

2

电子束蒸发与电阻蒸发复合镀膜系统

电子束蒸发与电阻蒸发复合镀膜系统可在基材上沉积多种材料，形成高质量薄膜。电子束蒸发利用电子束加热蒸发材料，实现精准控温和高纯度沉积；电阻蒸发则通过电阻加热蒸发材料，操作简便。这两种镀膜技术广泛应用于集成电路、材料学和光学领域。采购标的数量：1套；维保期间对任何仪器故障提供4小时电话响应，48小时内免费上门服务。

3

感应耦合等离子体刻蚀机

感应耦合等离子体刻蚀机利用高频电磁场产生等离子体，实现高精度、高选择性的材料刻蚀。广泛应用于集成电路、光电器件和微机电系统领域，适用于精细的图案化处理，具有刻蚀速率快、边缘清晰和平整度好的特点。采购标的数量：1套；维保期间对任何仪器故障提供4小时电话响应，48小时内免费上门服务。

4

自动焊线机

自动焊线机将集成电路芯片与其封装引脚之间通过细金属线进行电气连接。该设备具有高精度、高速度的特点，广泛应用于集成电路、发光二极管和传感器等电子器件的生产制造中，确保可靠的电气性能和稳定的品质。采购标的数量：1套；维保期间对任何仪器故障提供4小时电话响应，48小时内免费上门服务。