杭州市北京航空航天大学国际创新研究院北京航空航天大学国际创新学院8英寸大面积电子束曝光机项目允许采购进口产品的公示
杭州市北京航空航天大学国际创新研究院北京航空航天大学国际创新学院8英寸大面积电子束曝光机项目允许采购进口产品的公示
杭州市北京航空航天大学国际创新研究院（北京航空航天大学国际创新学院）8英寸大面积电子束曝光机项目允许采购进口产品的公示
公示简要情况说明：
一、采购人名称：杭州市北京航空航天大学国际创新研究院（北京航空航天大学国际创新学院）
二、进口产品公示编号：importedProduct202*****975*****
三、采购项目名称：8英寸大面积电子束曝光机
四、采购组织类型：
五、采购项目概况：
标的名称：8英寸大面积电子束曝光机
预算金额(元)：********
数量：1
单位：套
货物或服务的说明:拟采购的8英寸大面积电子束曝光机设备是芯片制造微纳米技术重要工艺设备之一，属于高粘密设备。可实现纳米级图形化加工，是利用电子束扫描将设计的图案直接光刻在涂有光刻胶的衬底材料上，辅以刻蚀/剥离制程实现图案的转移以及微纳结构的制备。光刻设备作为整个集成电路制造中最复杂和最关键的设备之一，其分辨率和套刻精度直接决定了所制造的集成电路的集成度，光源的波长是影响光刻精度的主要原因，高能电子的波长较小，电子束光刻的加工精度可达到10nm以内，适用于高分辨率电子束光刻工艺，并可对纳米结构进行精确的成像度量，在高度掩模制备、原型器件开发、小批量生产以及多个学科的基础研究中有着不可替代的作用，对于微纳结构形状多样化和极端精度要求的基础科学研究和定制化加工应用有重要意义，对新原理/新器件、集成电路设计、微机电系统、生物医学电子、存-算融合计算架构和芯片、量子计算芯片等，以及相关交叉领域的基础研究和应用研究尤为重要。
六、符合上述采购要求的进口产品产地、品牌（一家及以上）：
| 序号 | 品牌/厂家 | 产地 |
|---|---|---|
| 1 | / | / |
七、申请理由：
八、论证专业人员信息及意见：
| 专业人员姓名 | 专家人员职称 | 专业人员工作单位 |
|---|---|---|
| 戈肖鸿 | 正研级高级工程师 | 浙江欣芯微机电制造有限公司 |
| 焦海龙 | 高级工程师 | 航天科技集团九院704所 |
| 杨阳 | 研究员 | 中国科学院深海科学与工程研究所 |
| 田义超 | 研究员 | 杭州极弱磁场国家重大科技基础设施研究院 |
| 戚枭栋 | 律师 | 浙江泽怀律师事务所 |
专业人员对进口产品技术性能先进性、采购必要性的论证意见：
专家组听取了仪器采购单位对该设备申购进口仪器的用途和作用介绍，分析了目前该仪器在国内的使用和研究情况。该产品在性能和技术上具有较强优势，在微纳米技术领域被广泛认可，有助于项目的顺利开展，提高工作效率和成果质量。国产产品的性能和技术水平不足，适用于教学以及基本科研用途，无法满足高精度、多功能、高稳定性的工艺需求，可能会导致工作受到实质性影响。因此，建议购买该进口设备，详细意见见附件。
九、其它事项：
1、本项目公告期限为5个工作日，供应商对该项目拟采购进口产品及其理由和相关需求有异议的，可以在公示期限内（截止时间为本公示发布之日后的第6个工作日），以书面形式向采购人及同级财政监管部门提出异议。
2、其他事项
十、联系方式：
1.采购人信息
名称：杭州市北京航空航天大学国际创新研究院（北京航空航天大学国际创新学院）
联系人：李老师
联系电话：188*****221
传真：/
地址：浙江省杭州市余杭区瓶窑镇双红桥街166号
2.同级政府采购监督管理部门名称：北航国际创新研究院自行采购采购监管
联系人：刘老师
监管部门电话：0571-********
传真：/
地址：/
附件信息:
采购进口产品专家论证意见表-8英寸大面积电子束曝光机.pdf (2.2 M)
采购进口产品申请核准表-8英寸大面积电子束曝光机.pdf (1.5 M)
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