半自动硅光测试台采购采购公告
半自动硅光测试台采购采购公告
| 项目名称 | 半自动硅光测试台采购 | 项目编号 | XHGD-CG-******* |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | 172*****11000 | 公告截止日期 | 172*****00000 |
| 采购单位 | 西湖大学光电研究院 | 付款方式 | 预付40%，到货后支付50%，验收合格后支付10% |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 无 | 到货时间要求 | 签约后120个自然日 |
| 预 算 | ******.0 | ||
| 收货地址 | 杭州市富阳区春江街道江南路68号西湖大学光电研究院508 | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 半自动硅光测试台 | 1 | 台 | 无 |
| 品牌 | 无 |
|---|---|
| 型号 | 无 |
| 品牌2 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 品牌3 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 预算 | ******.0 |
| 技术参数及配置要求 | 设备整体要求：实现硅光晶圆（8英寸，兼容单芯片）半自动耦合以及DC和RF测试。 1. 一套探针台，适应8英寸硅光晶圆测试，超大工作台面，平整度不低于±5μm, 微调角度不低于±10°，XYZ载物平台重复定位精度不低于±1μm。载物台吸附固定晶圆，吸附孔独立控制。可兼容定制化单芯片测试； 2. 两套耦合模组，XYZ耦合分辨率不低于0.1um。三套耦合夹具，即一套水平光纤耦合、一套水平FA耦合、一套垂直单光纤耦合； 3. 两套射频探针座，采用磁吸，调节范围不低于±15mm，调节分辨率0.5um，行程可定制； 4. 六套DC探针针座，采用高精度4轴位移平台，重复定位精度0.5um，行程不低于10mm； 5. 一套相机定位系统，辅助DC探针针座的定位、晶圆芯片的视觉识别及引导探针台XYZ轴运动，视觉精度不低于10um； 6. 两套标准光学显微镜，倍率 0.7-4.5 倍连续变焦，综合放大不低于400倍； 7. 一套非接触式激光测高仪，对晶圆表面平整度测量：分辨率不低于 2nm，测量精度不低于0.5μm； 8. 配备00级大理石光学平台，气浮隔离环境振动； 9. 控制软件自动完成探针的扎针和晶圆的位移，自动生成MAP图，可以灵活配置，适用不同规格参数的测试，可定制化界面和测试模块； 10. 若为进口设备投标，请按人民币报价（报价需包含外贸代理费）。 |
| 售后服务 | 服务网点:不限;电话支持:7x24小时;服务年限:三年;服务时限:报修后48小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:一年; |
标签: 测试台
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