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技术规格及参数

（1. 具备显微观察功能；2. 具有高精度压电光电流 mapping 扫描功能；3. 提供测试集成软件：可实现常规电性测试，包含 I-V 曲线，转移曲线，输出曲线测试等；光电特性测试，精确测量光电流，并记录光电流随时间的变化包含器件光电响应 I-t 或者 V-t，不同光强下光电特性 I-V-光强等;提供 2636A 软件定制集成；4. 该系统应预留光路集成位置，用以兼容氙灯光路、空间耦合激光光路、线偏及圆偏光路等复杂测试。）
1. 屏蔽电学测试平台
1.1 探针台体行程X-Y≥50mm-50mm，移动精度≤2μm；
1.2 样品台移动精度≤2μm，旋转角度：360度；
1.3 样品台中心吸附孔固定样品；真空泵流量≥7L/min；
1.4 光电屏蔽罩壳，3同轴接口≥4个；空间自由光路安装面包板，尺寸≥900mm*700mm，可兼容氙灯光路、空间耦合激光光路、线偏及圆偏光路等复杂测试。
1.5 三同轴高精度探针座，数量≥4个，XYZ行程≥12mm；精度≤2μm；夹具漏电流<100fA；探针针尖直径≤5μm，数量≥10根；
2. 金相显微光路
2.1金相显微成像系统：物镜安装位≥5个，2,5,20,50倍各一个，工作距离均≥18mm；
2.2白色LED照明：功率≥1W，亮度可调；滤光片：特征波长覆盖400,470，520，600，670nm；
2.3 显微相机：CMOS传感器像素≥1200万，提供显微相机操作软件；
2.4 显微粗微调支架，调节范围≥25mm，精度≤1um；
2.5 电动快门，最高频率≥10Hz；
3. 光电流测试系统
3.1光电流量程：5nA-500uA，电压通道量程0.1V-10V，1nA振幅光电流响应速度≤500us，100nA振幅光电流响应速度≤50us；
3.2 光电流采样率≥10MS/s，垂直分辨率≥16bit；
3.3 适配实验室现有的2636A源表及接线；
3.4 光电/光谱测试软件：I-V测试、I-t测试、I-V-光强测试、自动激光光强校准；
4. 光电流压电扫描模块：压电扫描范围≥100*100μm，定位分辨率≤20nm，扫描光学分辨率≤1μm（50倍物镜）
所响应产品必须是全新、未使用过的原装合格正品（包括零部件），如安装或配置了软件的，须为正版软件。

质保期

质保期一年。

售后要求

工作日4小时内响应，8小时内提供解决方案，如问题无法远程解决，48小时内安排工程师上门维修。