光刻机采购计划
光刻机采购计划
| 项目编号 | BA********* | 项目名称 | 光刻机采购计划 |
|---|---|---|---|
| 经办人单位 | 电子科学与工程学院 | 经办人 | 王宝续 |
| 预算金额 | ******.00 人民币 | 成交金额 | ******.00 人民币 |
| 成交供应商 | 苏州中芯启恒芯片科技有限公司 | 质保期 | 24 月 |
| 联系地址 | 江苏省-苏州市-工业园区东富路45号联创产业园1幢5层 | 采购单位 | 吉林大学电子科学与工程学院 |
| 付款方式 | 货到验收合格办理相关手续后100%付款。 | ||
| 供应商联系手机 | 180*****385 | 交货时间 | 成交单签订后30天内交货 |
| 交货地址 | 吉林省-长春市-前进大街2699号唐敖庆楼D区超净实验室 | ||
| 交货方式 | 乙方免费将产品送达甲方用户单位指定地点。 | ||
| 包装及运费 | 由乙方免费提供及承担 | ||
| 验收方式 | 以成交单为准，参考相关内容进行验收。验收程序以甲方职能部门规定为准。 | ||
| 售后服务要求 | 1. 质保期：货到验收合格之日起24个月 2. 售后服务提供商：苏州中芯启恒芯片科技有限公司 3. 售后服务机构情况： 规模（技术人员人数）：40人 联系人：曹军 联系电话：180*****385 服务机构地点：江苏省苏州市工业园区东富路45号联创产业园1幢5层 4. 服务响应时间与服务内容： 电话响应时间：1小时 人员到达现场时间：2小时 排除故障时间：48小时 5. 培训方案： 培训次数：1次 培训人员数量：20人 培训地点：吉林大学 费用：免费 6. 本产品专用试剂的优惠供给计划：无 7. 其它服务承诺：无 | ||
| 采购材料 | 光刻机自主评审报告.pdf | ||
| 采购品目 | 其他电工、电子生产设备 | 品牌名称 | 无 |
|---|---|---|---|
| 名称 | 光刻机 | 产地及生产商 | 中国-苏州中芯启恒芯片科技有限公司 |
| 规格型号 | Cchip-0019 | 数量 | 1 |
| 计量单位 | 台 | 保修年限 | 2 年 |
| 单价 | ******.00 人民币 | 总价 | ******.00 人民币 |
| 主要技术参数 | 1） 曝光面积： 110mm× 110mm 2） 曝光波长： 365nm： 40mW/cm2 3） 分辨力： 0.8um 4） 对准采用双视场对准显微镜： 通过 CCD+显示器对准， 光学合像， 光学+电子放大 400 倍 5） 显微镜扫描范围： X： ±50mm， Y： ±20mm 6） 对准精度： ±0.5um 7） 掩模尺寸： 3 英寸、 4 英寸、 5 英寸 8） 样片尺寸： 2 英寸、 3 英寸、 4 英寸； 厚度 0.1mm--5mm 9） 曝光方式： 定时（倒计时方式） 10） 照明不均匀性： 2%（ f100mm 范围） 11） 掩模相对于样片运动行程： X: ±5mm; Y: ±5mm; q: ±6 度 12） 曝光光源： 紫外 LED 13） 曝光强度： 40mW 14） 最大胶厚： 350 um 15） 光源平行性： ＜1.8° 16） 曝光头在曝光启动时， 水平方向自动伸出， 曝光结束后， 水平方向自动缩回 17） 采用 4.6 英寸高灵敏度触碰式液晶屏， 可直接设置曝光参数， 无需鼠标和键盘 18） 掩膜夹和承片台采用采用推拉式基准平板、 真空吸附的方式， 方便快捷， 工作效率高 19） 外形尺寸： 900mm（长） 900mm(宽) 800mm（高） | ||
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