是否接受进口

接受进口

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

1.1 全金属密封，超高真空兼容，腔体配备2个观察窗，以及预留可升级法兰；
1.2 与分子泵之间配备1套气动闸板阀；离子泵与腔体之间配备1套气动闸板阀；
1.3 腔体真空度优于9x10^-8Pa；
1.4 腔体配备型材支架；
1.5 配备2个工艺气路（含配套流量计），粗抽管路，含气动角阀；

质保期

验收合格后12个月

售后要求

为保证售后服务质量，中标人提供报修电话及联系人，招标人保修后，24小时内响应，72小时内提供远程诊断和指导

是否接受进口

接受进口

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

1.1 配备2套分子泵;
1.2 抽速最低650L/s;

质保期

验收合格后12个月

售后要求

为保证售后服务质量，中标人提供报修电话及联系人，招标人保修后，24小时内响应，72小时内提供远程诊断和指导。

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品牌

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型号

无推荐型号

技术规格及参数

3.1 配备2套涡旋干泵;
3.2 抽速最低3.1L/s;

质保期

验收合格后12个月

售后要求

为保证售后服务质量，中标人提供报修电话及联系人，招标人保修后，24小时内响应，72小时内提供远程诊断和指导。

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型号

无推荐型号

技术规格及参数

4.1 配备4套真空计;
4.2 量程5x10^-8Pa - 1x10^5Pa；

质保期

验收合格后12个月

售后要求

为保证售后服务质量，中标人提供报修电话及联系人，招标人保修后，24小时内响应，72小时内提供远程诊断和指导。

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型号

无推荐型号

技术规格及参数

5.1 靶台可容纳6个1英寸的靶材；
5.2 靶台可自转，以及公转换靶；公转以及自转都由马达控制；同时靶台可在公转方向上小角度摆动扫描；
5.3 靶台可升降，行程大于50mm，由电机控制；

质保期

验收合格后12个月

售后要求

为保证售后服务质量，中标人提供报修电话及联系人，招标人保修后，24小时内响应，72小时内提供远程诊断和指导。

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接受进口

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型号

无推荐型号

技术规格及参数

6.1 配备1套安捷伦的离子泵
6.2 离子泵抽速最低300L/s；

质保期

验收合格后12个月

售后要求

为保证售后服务质量，中标人提供报修电话及联系人，招标人保修后，24小时内响应，72小时内提供远程诊断和指导。