重庆芯联微电子有限公司物理气相沉积设备国际招标公告1
重庆芯联微电子有限公司物理气相沉积设备国际招标公告1
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 300mm氮化钛层间阻挡层物理气相沉积设备 | 1 | 详见招标文件 | |
2 | 300mm氮化钛、钛、铝溅射设备 | 1 | 详见招标文件 | |
3 | 300mm镍铂物理气相沉积设备 | 1 | 详见招标文件 | |
4 | 300mm射频氮化钽、铜溅(中间层)设备 | 1 | 详见招标文件 | |
5 | 300mm射频氮化钽、铜溅(顶层)设备 | 1 | 详见招标文件 | |
6 | 300mm金属栅极溅射设备 | 1 | 详见招标文件 |
标签: 物理气相沉积
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