半导体薄膜微加工刻蚀设备采购公告
半导体薄膜微加工刻蚀设备采购公告
项目编号：XC********
根据《上海大学采购管理办法（试行）》和《上海大学货物和服务快速采购实施细则》，上海大学机电工程与自动化学院因教学、科研需要，现以上大迅采方式采购半导体薄膜微加工刻蚀设备。
1、符合政府采购法第二十二条之供应商资格规定。
2、供应商未被列入“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）失信执行人名单、重大税收违法案件当事人名单，和中国政府采购网（www.ccgp.gov.cn）政府严重违法失信行为记录名单的供应商。
| 采购内容/设备名称 | 采购数量 | 计量单位 |
|---|---|---|
| 半导体薄膜微加工刻蚀设备 | 1 | 台 |
| 参数名称 | 是否需要附件证明 | 评分等级 | 参数说明 |
|---|---|---|---|
| 兼容基板尺寸 | 是 | 核心指标 | 可支持尺寸为200 mm×200 mm及以下的方形玻璃基片。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证，响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的，视为没有实质性响应，将被判定为无效响应。须加盖供应商公章) |
| 配备3路前驱体源管路 | 是 | 核心指标 | 2路常温源，适用于饱和蒸汽压较高的源，1路可加热源，适用于需要加热的固态或液态源。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证，响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的，视为没有实质性响应，将被判定为无效响应。须加盖供应商公章) |
| 等离子体源与自动匹配器 | 是 | 核心指标 | 采用电感耦合远程等离子体源，频率13.56 MHz，功率可选配; 配备自动匹配器，能够自动进行阻抗匹配，缩短匹配时间。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证，响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的，视为没有实质性响应，将被判定为无效响应。须加盖供应商公章) |
| 沉膜厚度均匀性 | 是 | 核心指标 | 片内≤±1%；批间≤±1%。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证，响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的，视为没有实质性响应，将被判定为无效响应。须加盖供应商公章) |
| 干泵 | 是 | 核心指标 | 干泵额定抽速:≥65m3/H(峰值抽速 80m3h-1/cfm;极限真空 3*10-2mba)；真空泵与设备间的硬件和通信连接。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证，响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的，视为没有实质性响应，将被判定为无效响应。须加盖供应商公章) |
| 样品台加热参数 | 是 | 非核心指标 | 样品台加热温度可达350℃，温度控制精度±1℃。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证，响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的，视为没有实质性响应，将被判定为无效响应。须加盖供应商公章) |
| 腔材材质、控制与设计 | 是 | 非核心指标 | 腔材质为不锈钢，腔体表面经过电解抛光处理; 自动开关腔门设计，配备腔门关闭检测开关; 喷淋设计，进气自上而下流经衬底。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证，响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的，视为没有实质性响应，将被判定为无效响应。须加盖供应商公章) |
| 每路源需求与控温要求 | 是 | 非核心指标 | 每路源均配备进口阀门、手动阀和不锈钢源瓶; 每路源均配备载气（N2），载气管路配备计量阀、进口阀门;不锈钢管路及接头均采用EP等级，经过电解抛光处理；气体管路连接部件采用金属VCR密封; 前驱体源瓶与腔体之间管路配备模块化一体式加热保温系统，保证管路直角接头、源瓶手动阀连接处等位置无冷凝点。源瓶及管路的控温范围室温～120℃，控制精度:±1℃。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证，响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的，视为没有实质性响应，将被判定为无效响应。须加盖供应商公章) |
| 反应物供给系统 | 是 | 非核心指标 | H2O管路配备进口阀门及水源瓶; 提供N2气路接口用于吹扫，N2采用高精度MFC进行流量控制。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证，响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的，视为没有实质性响应，将被判定为无效响应。须加盖供应商公章) |
| 真空系统配置参数 | 是 | 非核心指标 | 配置无油静音干泵、两个真空规，抽气管路配备加热装置，加热可达150℃，控温精度为±1℃。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证，响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的，视为没有实质性响应，将被判定为无效响应。须加盖供应商公章) |
| 控制系统与人机交互 | 是 | 非核心指标 | 控制系统采用 PLC+工控机触摸屏方式实现。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证，响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的，视为没有实质性响应，将被判定为无效响应。须加盖供应商公章)。 |
| 安全防护系统 | 是 | 非核心指标 | 对高温区进行隔热处理，防止可接触位置温度过高造成伤害。电气硬件互锁设计包含 CDA 等硬件互锁（Interlock）功能，防止误操作的发生，保证设备和人身安全。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证，响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的，视为没有实质性响应，将被判定为无效响应。须加盖供应商公章)。 |
| 要求名称 | 是否需要附件证明 | 要求说明 |
|---|---|---|
| 营业执照（三证合一） | 是 | 请上传相关证明材料(须加盖供应商公章) |
| 信用中国证明 | 是 | 信用信息报告日期最早应为本项目迅采公告发布之日(须加盖供应商公章) |
| 要求名称 | 是否需要附件证明 | 要求说明 | 评分内容 |
|---|---|---|---|
| 安装与验收计划 | 是 | 供应商在货物到达采购人后72小时内给予安装，如果由于采购人条件准备不成熟以至于延期，采购人将提前2周通知供应商安装时间。货物由供应商免费安装调试，双方按产品技术规格和采购人技术要求进行验收，达到验收指标后双方签署验收报告。安装期间采购人为供应商的安装工程师提供相应测试物体。供应商合同签订后即可向采购人提供合同设备的有关安装要求，如水、电、安装场地等要求。供应商响应时需要提交详细的安装与验收计划，并加盖供应商公章。 | |
| 同类业绩 | 是 | 供应商需提供自2020年1月起至今的同类货物的销售合同，其中需体现合同的签约主体、销售货物名称、签订日期等合同要素的相关内容。同类业绩合同供应商需分列填报上传，合并文件填报或集中填报在同一格子内的算1份业绩。(须加盖供应商公章) | |
| 培训计划 | 是 | 供应商在安装调试期间免费为采购人的有关设备操作人员进行现场培训及相关工艺培训，由资深工艺专家进行培训指导。供应商应负责安排采购人2-3人为期不少于1天的操作技能和设备维修培训。在质保期内，可根据采购人要求，提供多次现场培训。供应商响应时提供详细的培训计划，并加盖供应商公章。 | |
| 质保期 | 是 | 自到货并验收合格之日起，最低要求质保期3年。 | 3年4年5年及以上 |
| 付款方式 | 是 | 合同签订后支付30%，货到学校，验收合格并签署验收报告后支付70% | |
| 交货期 | 是 | 在签订合同后60日内交货。 |
1、质量标准和要求
成交供应商所出售的标的物的质量标准按照国家标准、行业标准或制造厂家企业标准确定，上述标准不一致的，以严格的标准为准。没有国家标准、行业标准和企业标准的，按照通常标准或者符合合同目的的特定标准确定。
成交供应商所交付的服务还应符合国家和上海市有关安全、环保、卫生之规定。
如果质量标准不统一的，应以采购方所选择的质量标准为依据。
2、包装要求
成交供应商所出售的全部货物均应按标准保护措施进行包装，这类包装应适应于远距离运输、防潮、防震、防锈和防野蛮装卸等要求，以确保货物安全无损地运抵指定现场。
每一个包装箱内应附一份详细装箱单、质量证书和保修保养证书。
3、验收
货物的数量不足或表面瑕疵采购方应在验收时当面提出，对质量问题之异议应在安装调试后七日内提出。
采购方可采取以下第（1）种方式对货物组织验收：
（1）采购方收货后根据货物的技术规格要求和质量标准，对货物进行检查验收，如果发现数量不足或有质量、技术等问题，成交供应商应负责按照采购方的要求采取补足、更换或退货等处理措施，并承担由此发生的一切损失和费用。验收合格后，采购方收取发票并签署验收意见。采购方在货物送达后无正当理由而拖延验收或不验收超过上述规定的验收期的，则视为其已验收通过。但对货物有质量保证期的，适用质量保证期之规定。
4、质量保证
成交供应商应保证所供货物是全新的、未使用过的，并完全符合合同规定的质量、规格和性能的要求。成交供应商应保证其货物在正确安装、正常使用和保养条件下，在其使用寿命期内应具有满意的性能。在货物最终交付验收后的质量保证期内，成交供应商应对由于设计、工艺或材料的缺陷而产生的故障负责。
5、履约延误
成交供应商应按照合同规定的时间、地点交货和提供服务。
如成交供应商无正当理由而拖延交货，采购方有权没收成交供应商提供的履约保证金，或解除合同并追究成交供应商的违约责任。
在履行合同过程中，如果成交供应商可能遇到妨碍按时交货和提供服务的情况时，应及时以书面形式将拖延的事实，可能拖延的期限和理由通知采购方。采购方在收到成交供应商通知后，应尽快对情况进行评价，并确定是否同意延长交货时间或延期提供服务。
6、误期赔偿
除合同不可抗力部分的规定外，如果成交供应商没有按照合同规定的时间交货和提供服务，采购方应从货款中扣除误期赔偿费而不影响合同项下的其他补救方法，赔偿费按每周赔偿迟交货物的交货价或延期服务的服务费用的百分之一（1%）计收，直至交货或提供服务为止。但误期赔偿费的最高限额不超过合同价的百分之五（5%）。一周按七天计算，不足七天按一周计算。一旦达到误期赔偿的最高限额，采购方有权单方终止合同。
7、合同转让和分包
除采购方事先书面同意外，成交供应商不得转让和分包其应履行的合同义务。
1、汇款信息
采购代理机构名称：上海政采项目管理有限公司
采购代理机构开户银行（人民币）：招商银行股份有限公司上海南方商城支行
账号（人民币）：121*****4410101
户名：上海政采项目管理有限公司
2、代理服务费收费标准
1）本项目成交代理服务费由成交供应商直接向代理机构支付。
2）成交代理服务费：参照计价格【2002】1980号文收费标准为基础，再以63.71折计取（不低于2500.00元人民币）。
上海大学
2024-09-26
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