采购项目名称：电子束-激光复合平台机械设计耗材
采购单位：北京市清华大学李兆基科技大楼
付款方式：货到付款100%
签约时间要求：成交后5个工作日内
交货时间要求：签订合同后3个工作日内
交货地址：北京市清华大学李兆基科技大楼
技术参数及配置要求：1.电子束-激光复合平台连接盘机械设计 设计电子枪与激光振镜的合束法兰盘一套 法兰盘具有水冷功能，法兰盘在一面温度500摄氏度时，振镜与电子枪装配面10小时温度不超过200摄氏度。 电子枪与激光振镜的光路轨迹无干涉 2.电子束-激光复合平台真空密封套件 平台密封套件，包括防蒸镀设备运动套件，与动密封套件，在平台上，后两侧具有运动输入接口。 3.电子束-激光复合平台防辐射设计 电子束激光复合设备定制化防辐射套件一套 对观察窗口无影响，100mA束流时四周电离辐射符合国家标准，高度集成化，对运动机构无遮挡，方便吊装。 4.电子束-激光复合平台激光光路底座设计 激光光路底座一套 包括水冷底座，可对振镜进行冷却。 振镜装配定位精度不小于±0.2mm
质保期：12个月
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