项目名：备件采购
编号：无
日期：2024-09-29
采购单位：无锡中微晶园电子有限公司

SIN小喷头 件 2 O-ring 件 10 Backup Ring，3/4 个 6 导电膜 个 3 按键皮 个 3 压空管 卷 1 陶瓷手臂PULLOUT ARM 件 2 直线模组LX3010CG-B1-F-350 个 1 基座导热垫片（6寸） 个 10 monitor base 个 1 电路板 个 1 腔盖屏蔽盖 个 3 气动阀（为BN系列常闭阀芯，P5000/PVD/LAM设备通用） 个 2 运动档块 个 2 隔热垫 个 5 GAP驱动器 个 1 CVG快插 套 1 Lamp,100OW,225VAC 件 5 绝缘柱 件 100 绝缘柱 件 100 绝缘柱 件 100 热偶规 件 20 LED模块 块 1 CPU板 个 1 O型圈（205*15） 件 60 电路板 个 1 CPU板 个 1 灯旋转马达 件 1 O-RING 件 50 螺丝 个 20 定制加热夹克 件 1 真空转接头 个 1 Isolator Ring 个 1 汞灯 件 4 氟胶密封圈 个 10 波纹管 个 1 ORING ID 1.609CSD 个 3 电路板 个 1 cassette 切换气缸 个 1 直线导轨固定件-H 个 1 圆头联轴器 个 1 同步带 个 1 挡板 件 10 MFC cable 个 3 扇形沉积屏蔽板 个 15 波纹管 个 1 方圈 件 10 陶瓷手臂LOAD ARM 个 1 PVC快排阀 个 2 流量计 个 1 红外线灯管--********* 件 30 侧板 件 5 双气孔底板 个 3 高频磁控管 件 1 SWITCH VACUUM 件 1 6寸前置承片盘弹簧 个 150 密封扣 件 4 流量计 个 1