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等离子体增强化学气相沉积-招标公告
(招标编号：TC24118FN)
招标项目所在地区：四川省绵阳市
一、招标条件
本等离子体增强化学气相沉积【重新招标】【重新招标】（招标项目编号：TC24118FN），已由项目
审批/核准/备案机关批准，项目资金来源为国企自筹，招标人为中国电子科技集团公司第九研究所。本项
目已具备招标条件，现进行公开招标。
二、项目概况和招标范围
项目规模：本设备主要用于在晶圆表面沉积SiNx、SiO2等介质薄膜作为绝缘层、隔离层或保护层，最
大支持8英寸晶圆沉积，可向下兼容，应用领域主要为MEMS工艺。系统具备报警、安全互锁等保护功能等
。
招标内容与范围：本招标项目划分为标段1 个标段，本次招标为其中的：
001 等离子体增强化学气相沉积
三、投标人资格要求
001 等离子体增强化学气相沉积：
3.1本次招标要求投标人为独立法人单位，并具有与本招标项目相应的供货能力。
3.2投标人为企业单位的提供2023年度经会计师事务所或审计机构审计的财务会计报表。应包括资产
负债表、现金流量表、利润表。成立不足一年的应提供成立以来的财务状况表。投标人为科研院所、高等
院校等事业单位的提供2023年度经审计（或内审）的财务报告。
3.3信誉要求：投标人未被最高人民法院列入失信被执行人名单，提供信用中国（
https://www.creditchina.gov.cn）/或中国执行信息公开网(http://zxgk.court.gov.cn/)查询结果。投标人
为科研院所、高等院校等事业单位的可提供信誉承诺（格式自拟）。
3.5其他要求:
（1）本次招标不接受联合体投标。
（2）投标人对其提供的文件资料真实性负责。即使投标人提交的文件资料通过了审核，在评标过程
中乃至定标后，如发现投标人所提供的文件资料不合法或不真实，则其投标将作为废标处理，并承担相应
法律责任。
（3）投标人对响应条款应承担履约责任，若签约后无法履约，将纳入中国电科供应商负面清单，并
追究其违约责任。
3.6未在招标代理机构登记、获取招标文件者投标无效。
本项目不允许联合体投标。
四、招标文件的获取
获取时间：2024年10月08日17时00分00秒---2024年10月14日17时00分00秒
获取方法：详见七、其他公告内容
五、投标文件的递交
递交截止时间：2024年10月30日14时30分00秒
递交方法：详见七、其他公告内容
六、开标时间及地点
开标时间：2024年10月30日14时30分00秒
开标地点及方式：详见七、其他公告内容
七、其他公告内容
招标公告
1. 招标条件
本招标项目等离子体增强化学气相沉积（项目名称）招标人为
中国电子科技集团公司第九研究所，招标项目资金来自 国拨资金
（资金来源）。该项目资金已落实具备招标条件，现对本项目进行国内公开招标。
2. 项目概况与招标范围
2.1招标编号：TC24118FN
2.2数量：1台/套
2.3主要功能：
本设备主要用于在晶圆表面沉积SiNx、SiO2等介质薄膜作为绝缘层、隔离层或保护层，
最大支持8英寸晶圆沉积，可向下兼容，应用领域主要为MEMS工艺。系统具备报警、
安全互锁等保护功能等。详见第五章供货要求。
2.4交货地点：绵阳市高新区滨河北路西段268号中国电子科技集团第九研究所
2.5交货期：合同签订后8个月内完成到货及安装调试。
3. 投标人资格要求
3.1本次招标要求投标人为独立法人单位，并具有与本招标项目相应的供货能力。
3.2投标人为企业单位的提供2023
年度经会计师事务所或审计机构审计的财务会计报表。应包括
资产负债表、现金流量表、利润表
。成立不足一年的应提供成立以来的财务状况表。投标人为科研院所、高等院校等事业单位
的提供
202
3年度经审计（或内审）的财务报告。
3.3
信誉要求：投标人未被最高人民法院列入失信被执行人名单，提供信用中国（
https://www.creditchina.gov.cn）/或中国执行信息公开网(http://zxgk.court.gov.cn/)
查询结果。投标人为科研院所、高等院校等事业单位的可提供信誉承诺（格式自拟）。
3.5其他要求:
（1）本次招标不接受联合体投标。
（2
）投标人对其提供的文件资料真实性负责。即使投标人提交的文件资料通过了审核，在评标
过程中乃至定标后，如发现投标人所提供的文件资料不合法或不真实，则其投标将作为废标
处理，并承担相应法律责任。
（3
）投标人对响应条款应承担履约责任，若签约后无法履约，将纳入中国电科供应商负面清单
，并追究其违约责任。
3.6未在招标代理机构登记、获取招标文件者投标无效。
4. 招标文件的获取
4.1从2024年10月8日开始至2024年10月14日
，每天9:00～11:00、13:30～17:00
发售招标文件，文件发售方式为网上在线下载电子文件，网址为
www.365trade.com.cn。
详见附件-特别告知；
4.2招标文件每套售价为800
元人民币/
包，请有意参加投标的潜在投标人确认自身资格条件是否满足要求，售后不退，应自负其责
。
5. 投标文件的递交
5.1 投标文件递交的截止时间：2024年10月30日14时30分；
5.2 响应文件递交地点：绵阳市游仙区华庭酒店3楼北区会议室；
5.3
逾期送达的、未送达指定地点的或者不按照招标文件要求密封的投标文件，招标人将予
以拒收。
6. 发布公告的媒介
本次招标公告同时在中国招标投标公共服务平台（http://www.cebpubservice.com/）。
7. 联系方式
招 标 人：
招标代理机构：
中国电子科技集团公司第九研究所
中招国际招标有限公司
地 址：
地 址：北京市海淀区学院南路62号
四川省绵阳市涪城区滨河北路西端268号
/绵阳市游仙区华庭酒店3楼北区
邮 编： 621000
邮 编： 100081
联 系 人： 谢老师
联 系 人：代昆鹏、刘明松
电 话： 13989281851
电 话：010-62108295/15700221582
技术负责人： 李老师
传 真： 010-62108295
电话： 17708053791
电子邮件：
账户名称： /
账 号： /
daikunpeng@cntcitc.com.cn
账户名称：中招国际招标有限公司
账 号：0200049619200362296
开户银行： /
开户银行：
中国工商银行北京海淀支行营业部
附件：
各潜在供应商：
特别告知
有意参加招标采购活动的单位，请于规定时间内完成以下步骤：
（1）注册：登录中招联合招标采购平台（http://www.365trade.com.cn；下简称“
交易平台”
）或在中招国际招标有限公司网站主页点击【供应商入口】进行免费注册。（注册步骤
：【供应商入口】
-【立即注册】-填写信息-
完成注册，具体操作步骤详见【立即注册】页面《中招联合招标采购平台快速注册指引
》）。潜在供应商只需注册一次，不同的经办人可建立多个账户。交易平台负责对潜在
供应商注册信息与其提供的信息进行一致性检查。
（2
）购买招标文件：经办人凭获得的用户名、密码验证身份登录进入系统，点击【寻找商
机】进行项目名称查询，找到项目点击【我要参与】，等待项目经理审核通过后，潜在
供应商选中需要报名的包加入购物车进行标书费用支付。潜在供应商请在招标文件售卖
截止时间前登录中招联合招标采购平台完成注册、下单操作，否则将无法保证获取招标
文件。
（3）支付方式：线上支付
潜在供应商若在交易平台下载招标文件，除文件款外还需通过网银支付招标文件下载服
务费，收费标准为每套人民币
200元，由中招联合信息股份有限公司出具增值税电子普通发票，文件购买人可登录“
中招联合招标采购平台”自行下载增值税电子普通发票。
文件款、平台交易服务费一经收取不予退还。
（4）技术支持：如有疑问可拨打中招联合招标采购平台统一服务热线010-86397110，
010-62108037进行咨询。
（5）免责声明：“中招联合招标采购平台”（网址：http://www.365trade.com.cn
）为本项目缴纳标书费的唯一渠道，其他平台的支付均属无效。
八、监督部门
本招标项目的监督部门为中国电子科技集团公司第九研究所。
九、联系方式
招标人：中国电子科技集团公司第九研究所
地址：四川省绵阳市高新区滨河北路西段268号
联系人：谢老师
电话：13989281851
电子邮件：/
招标代理机构：中招国际招标有限公司
地址：北京市海淀区学院南路62号中关村资本大厦
联系人：代昆鹏
电话：15700221582
电子邮件：daikunpeng@cntcitc.com.cn
招标人或其招标代理机构主要负责人（项目负责人）：_______________（签名）
招标人或其招标代理机构：_______________（盖章）
联系人：郝工
电话：
010-68960698 邮箱：1049263697@qq.com
